種類回転ステージ耐荷重(N)39.2移動ガイドボールベアリング質量(kg)0.7ステージ寸法(mm)Φ70面振れ(mm)0.06位置決め精度(°)0.05仕様(心振れ)0.01mm表面処理(テーブル)黒アルマイト梨地センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ分解能0.01°平行度(mm)0.075適合ケーブルACB-STM2、ACB-STM3RoHS指令(10物質対応)対応移動方向回転方向使用モータPK523HPB相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)移動量(°)360ロストモーション(°)0.02最高速度(°/s)50(5000pps時)繰返し精度(°)±0.003材質(テーブル)アルミ合金
