XY直交度(mm)0.02
ストローク(X距離)(mm)±50
ストローク(Y距離)(mm)±50
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)130
テーブル幅(mm)200
耐荷重(N)216
送り方式手動ねじ式
移動ガイドV溝とクロスローラ
仕様(リニアスケール)マグネスケールおよび表示ユニット付
質量(kg)16
クランプ割締め式
平行度(mm)0.06
目量バーニヤ読み0.05mm/スケール表示ユニット読み0.0005mm(0.5μm)
材質/処理(テーブル)鋼材/カニゼンメッキ
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.003、ヨーイング・ピッチング15sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.02、ピッチ剛性：0.02、ロール剛性：0.01
移動量(ツマミ1回転)1mm
