XY直交度(mm)0.02
ストローク(X距離)(mm)±25
ストローク(Y距離)(mm)±25
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)125
テーブル幅(mm)150
耐荷重(N)245
送り方式MHD-50MB(デジタル表示式マイクロメータ)
移動ガイドV溝とクロスローラ
質量(kg)10.3
感度0.001mm
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.06
目量デジタル表示式マイクロメータ0.001mm
材質/処理(テーブル)鋼材/硬質黒色クロム
操作位置センター
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.003、ヨーイング・ピッチング15sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.02、ピッチ剛性：0.02、ロール剛性：0.01
移動量(ツマミ1回転)0.5mm
