XY直交度(mm)0.02ストローク(X距離)(mm)±25ストローク(Y距離)(mm)±25種類xyステージテーブル長さ(mm)125テーブル幅(mm)150耐荷重(N)245送り方式MHD-50MB(デジタル表示式マイクロメータ)移動ガイドV溝とクロスローラ質量(kg)10.3感度0.001mmクランプ板クランプ平行度(mm)0.06目量デジタル表示式マイクロメータ0.001mm材質/処理(テーブル)鋼材/硬質黒色クロム操作位置センター移動方向XY軸2方向移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.003、ヨーイング・ピッチング15secモーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.02、ピッチ剛性：0.02、ロール剛性：0.01移動量(ツマミ1回転)0.5mm
