XY直交度(mm)0.01ストローク(X距離)(mm)±6.5ストローク(Y距離)(mm)±6.5種類xyステージテーブル長さ(mm)60テーブル幅(mm)60耐荷重(N)192.1送り方式MHN4-25MB(デジマチックマイクロメータ)移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)質量(kg)1.2感度0.001mmクランプ板クランプ平行度(mm)0.030、運動の平行度：0.014目量デジタル表示式0.001mm材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム操作位置センター移動方向XY軸2方向移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001ヨーイング15sec、ピッチング25secモーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.08、ピッチ剛性 0.06、ロール剛性 0.06許容モーメント荷重(N・cm)ヨー：1200、ピッチ：1200、ロール：1200移動量(ツマミ1回転)0.5mm
