XY直交度(mm)0.01ストローク(X距離)(mm)±3ストローク(Y距離)(mm)±3種類xyステージテーブル長さ(mm)60テーブル幅(mm)60耐荷重(N)192.1送り方式MHS4-6.5FP(ファインピッチマイクロ)移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)質量(kg)0.8感度0.001mmクランプ板クランプ平行度(mm)0.030、運動の平行度：0.014目量マイクロメータ式0.002mm材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロムRoHS指令(10物質対応)対応操作位置サイド移動方向XY軸2方向移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001ヨーイング15sec、ピッチング25secモーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.08、ピッチ剛性 0.06、ロール剛性 0.06許容モーメント荷重(N・cm)ヨー：1200、ピッチ：1200、ロール：1200移動量(ツマミ1回転)0.1mm
