XY直交度(mm)0.01
ストローク(X距離)(mm)±3
ストローク(Y距離)(mm)±3
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)70
テーブル幅(mm)70
耐荷重(N)239.1
送り方式MHS4-6.5FP(ファインピッチマイクロ)
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)1.2
感度0.001mm
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.030、運動の平行度：0.014
目量マイクロメータ式0.002mm
材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム
RoHS指令(10物質対応)対応
操作位置センター
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001ヨーイング15sec、ピッチング25sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.08、ピッチ剛性 0.06、ロール剛性 0.06
許容モーメント荷重(N・cm)ヨー：1500、ピッチ：1500、ロール：1500
移動量(ツマミ1回転)0.1mm
