XY直交度(mm)0.01
ストローク(X距離)(mm)±3
ストローク(Y距離)(mm)±3
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)70
テーブル幅(mm)70
耐荷重(N)78.4
送り方式MHS4-6.5FP(ファインピッチマイクロ)
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
感度0.001mm
質量(kg)0.5
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.050、運動の平行度：0.020
目量マイクロメータ式0.002mm
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
操作位置サイド
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.06、ピッチ剛性：0.20、ロール剛性：0.20
移動量(ツマミ1回転)0.1mm
