ストローク(X距離)(mm)±12.5種類Xステージテーブル長さ(mm)125テーブル幅(mm)125耐荷重(N)245送り方式MHS4-6.5FP(ファインピッチマイクロ)移動ガイドV溝とクロスローラ質量(kg)2.6感度0.003mmクランプ板クランプ平行度(mm)0.03目量デジタル表示式マイクロメータ0.001mm材質/処理(テーブル)鋼材/硬質黒色クロム操作位置センター移動方向X軸1方向移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.003、ヨーイング・ピッチング15secモーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性:0.05、ピッチ剛性:0.05、ロール剛性:0.03移動量(ツマミ1回転)0.5mm