材質/処理(テーブル)鋼材/カニゼンメッキ
移動方向X軸1方向
仕様(リニアスケール)マグネスケールおよび表示ユニット付
質量(kg)8
種類Xステージ
クランプ割締め式
平行度(mm)0.03
目量バーニヤ読み0.05mm/スケール表示ユニット読み0.0005mm(0.5μm)
耐荷重(N)294
RoHS指令(10物質対応)対応
送り方式手動ねじ式
移動ガイドV溝とクロスローラ
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.003、ヨーイング・ピッチング15sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.02、ピッチ剛性：0.02、ロール剛性：0.01
テーブル幅(mm)200
テーブル長さ(mm)130
ストローク(X距離)(mm)±50
移動量(ツマミ1回転)1mm
