材質/処理(テーブル)鋼材/硬質黒色クロム
移動方向X軸1方向
質量(kg)5.3
種類Xステージ
感度0.001mm
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.03
目量デジタル表示式マイクロメータ0.001mm
耐荷重(N)294
操作位置センター
送り方式MHD-50MB(デジタル表示式マイクロメータ)
移動ガイドV溝とクロスローラ
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.003、ヨーイング・ピッチング15sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性:0.02、ピッチ剛性:0.02、ロール剛性:0.01
テーブル幅(mm)150
テーブル長さ(mm)125
ストローク(X距離)(mm)±25
移動量(ツマミ1回転)0.5mm