ストローク(X距離)(mm)±3種類Xステージテーブル長さ(mm)30テーブル幅(mm)30耐荷重(N)19.6送り方式MHT3-6.5FP(ファインピッチマイクロ)移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)感度0.001mm目量マイクロメータ式0.002mm操作位置サイド質量(kg)0.06クランプ板クランプ平行度(mm)0.030、運動の平行度：0.010材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地RoHS指令(10物質対応)対応移動方向X軸1方向移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002、ヨーイング20sec、ピッチング30secモーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：1.00、ピッチ剛性：1.00、ロール剛性：1.00移動量(ツマミ1回転)0.1mm
