ストローク(X距離)(mm)±3種類Xステージテーブル長さ(mm)60テーブル幅(mm)60耐荷重(N)196送り方式MHS4-6.5FP(ファインピッチマイクロ)移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)質量(kg)0.4感度0.001mmクランプ板クランプ平行度(mm)0.015、運動の平行度：0.007目量マイクロメータ式0.002mm材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロムRoHS指令(10物質対応)対応操作位置センター移動方向X軸1方向移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001、ヨーイング15sec、ピッチング25secモーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.04、ピッチ剛性：0.04、ロール剛性：0.02許容モーメント荷重(N・cm)ヨー：1200、ピッチ：1200、ロール：1200移動量(ツマミ1回転)0.1mm
