ストローク(X距離)(mm)±3
種類Xステージ
テーブル長さ(mm)60
テーブル幅(mm)60
耐荷重(N)196
送り方式MHS4-6.5FP(ファインピッチマイクロ)
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.4
感度0.001mm
クランプ操作側板クランプ
平行度(mm)0.015、運動の平行度：0.007
目量マイクロメータ式0.002mm
材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム
RoHS指令(10物質対応)対応
操作位置サイド
移動方向X軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001、ヨーイング15sec、ピッチング25sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.04、ピッチ剛性：0.04、ロール剛性：0.02
許容モーメント荷重(N・cm)ヨー：1200、ピッチ：1200、ロール：1200
移動量(ツマミ1回転)0.1mm
