ストローク(X距離)(mm)±3
種類Xステージ
テーブル長さ(mm)60
テーブル幅(mm)60
耐荷重(N)58.8
送り方式MHS4-6.5FP(ファインピッチマイクロ)
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
感度0.001mm
操作位置サイド
移動量(ツマミ1回転)0.1mm
質量(kg)0.24
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.030、運動の平行度：0.010
目量マイクロメータ式0.002mm
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向X軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002、ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.05、ピッチ剛性：0.20、ロール剛性：0.20
