ストローク(X距離)(mm)±6.5種類Xステージテーブル長さ(mm)70テーブル幅(mm)70耐荷重(N)245送り方式MHN4-25MB(デジマチックマイクロメータ)移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)質量(kg)0.8感度0.001mmクランプ板クランプ平行度(mm)0.015、運動の平行度:0.007目量デジタル表示式0.001mm材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム操作位置サイド移動方向X軸1方向移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001、ヨーイング15sec、ピッチング25secモーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性:0.04、ピッチ剛性:0.04、ロール剛性:0.02許容モーメント荷重(N・cm)ヨー:1500、ピッチ:1500、ロール:1500移動量(ツマミ1回転)0.5mm