ストローク(Z距離)(mm)0～6種類Zステージテーブル長さ(mm)70テーブル幅(mm)70耐荷重(N)29.3送り方式MHS4-6.5FP(ファインピッチマイクロ)移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)質量(kg)0.4感度0.001mmクランプ板クランプ平行度(mm)0.1目量マイクロメータ式0.002mm材質(ベース)アルミ合金/黒アルマイト梨地材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロムRoHS指令(10物質対応)対応移動方向Z軸1方向移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.005モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 1.0、ピッチ剛性 2.5、ロール剛性 0.4許容モーメント荷重(N・cm)ヨー：150、ピッチ：100、ロール：160垂直度(mm)0.01移動量(ツマミ1回転)0.1mm
