ストローク(Z距離)(mm)±3種類Zステージテーブル長さ(mm)30テーブル幅(mm)30耐荷重(N)19.6送り方式MHT3-6.5FP(ファインピッチマイクロ)移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)感度0.001mm目量マイクロメータ式0.002mm操作位置センター質量(kg)0.07クランプ板クランプ材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地RoHS指令(10物質対応)対応移動方向Z軸1方向移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002、ヨーイング20sec、ピッチング30secモーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 1.00、ピッチ剛性 1.00、ロール剛性 1.00垂直度(mm)0.080、運動の垂直度：0.030移動量(ツマミ1回転)0.1mm
