ストローク(Z距離)(mm)±3
種類Zステージ
テーブル長さ(mm)60
テーブル幅(mm)60
耐荷重(N)19.6
送り方式MHS4-6.5FP(ファインピッチマイクロ)
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
感度0.001mm
操作位置サイド
移動量(ツマミ1回転)0.1mm
質量(kg)0.44
クランプ板クランプ
目量マイクロメータ式0.002mm
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向Z軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002、ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.05、ピッチ剛性 0.20、ロール剛性 0.20
垂直度(mm)0.080、運動の垂直度：0.030
