ストローク(Z距離)(mm)±6.5
種類Zステージ
テーブル長さ(mm)70
テーブル幅(mm)70
耐荷重(N)49
送り方式MHN4-25MB(デジマチックマイクロメータ)
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)1.05
感度0.001mm
クランプ板クランプ
目量デジタル表示式0.001mm
材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム、(Zブラケット)アルミ合金/黒アルマイト梨地
操作位置センター
移動方向Z軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001、ヨーイング15sec、ピッチング25sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.04、ピッチ剛性 0.04、ロール剛性 0.02
許容モーメント荷重(N・cm)ヨー：1500、ピッチ：1500、ロール：1500
垂直度(mm)0.065、運動の垂直度：0.025
移動量(ツマミ1回転)0.5mm
