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外部オールステンレスにより耐食性耐熱性向上。 高温、水飛散、銅亜鉛不可等の環境下での使用が可能。材質：SUS316(外部金属部)※、FKM(シール部)。 ※ボディA以外の材質はSUS304となります。最高使用温度：150℃。NSF H1グリース使用

適用流体：空気， N2。レンジアビリティ 100：1。1台で幅広い流量の計測が可能。耐ドレン・異物性能向上。圧力損失75%低減(20kPa→5kPa)。IO-Link対応。エアコンビネーションに接続可能(モジュラタイプ)。4画面圧力/温度センサ付デジタルフロースイッチ(モジュラタイプ)を用意。(積算)流量/圧力/温度の同時計測が可能。

小型、軽量。 使用流体温度：-5～150℃ 材質：金属部SUS316、シール部特殊FKM ノングリース、蒸気使用可。食品衛生法適合。

小型、軽量。 使用流体温度：-5～150℃ 材質：金属部SUS316、シール部特殊FKM ノングリース、蒸気使用可。食品衛生法適合。

プッシュロック式によりニードルロックの作業性向上 ハンドルの大型化 チューブ着脱性向上 挿入力Max.30%(8N)低減 離脱率Max.20%(5N)低減※ ※チューブ引抜強度は、現行品と同等レベルを確保 無電解ニッケルめっき仕様を標準化

真空1.3×10-2kPa使用可能。 ナットを外さず配管可能。 使用流体温度：-5～150℃(黄銅スリーブ)、-5～60℃(樹脂スリーブ) 蒸気使用可能。 ノングリース仕様。

一般空気圧配管用 柔軟

・流量UPでバルブのサイズダウン可能。 省エネ、省スペースに貢献します。 ・消費電力：0.1w(節電回路付)、0.35w(標準) ・寿命 2億回(メタルシール)、7000万回(弾性体シール) ・プラグインサブプレートに対応。 ・プラグイン金属ベース(IP40)/プラグインコネクタ接続ベース(IP67) ・マニホールド型式：SS5Y3，SS5Y5，SS5Y7

・真空1.3×10-2kPa使用可能。 ・ナットを外さず配管可能。 ・使用流体温度：-5～150℃(黄銅スリーブ) -5～60℃(樹脂スリーブ) ・蒸気使用可能。 ・ノングリース仕様。

・最高使用圧力2.3MPa以下(20℃時)※ ・食品衛生法適合試験に適合。 ・FDA(米国食品医薬品局)§177-1550溶出試験に適合。 ・最高使用温度：200℃(条件により異なります) ※サイズにより異なります。

・ペルチェ素子を使った、高精度温調恒温槽。 ・小型、低騒音。 ・独自の撹拌方式により上下温度分布が小さい。 温度安定性±0.01℃を実現 槽内温度分布±0.02℃を実現

・工場内循環水との直接熱交換器。 ・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。 ・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ セス装置に実績多数。 ・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。 ・インバータタイプの選択可能。

・軽量：最大53%削減(40L/min、温度センサ付の場合)。・3色表示・2画面表示対応。・温度センサ&流量調整弁に対応。・使用流体温度0～90℃。・3画面4チャンネルフローモニタ PFG200 Series対応

・流量UPでバルブのサイズダウン可能。 省エネ、省スペースに貢献します。 ・消費電力：0.1w(節電回路付)、0.35w(標準) ・寿命 2億回(メタルシール)、7000万回(弾性体シール) ・プラグインサブプレートに対応。 ・プラグイン金属ベース(IP40)/プラグインコネクタ接続ベース(IP67) ・マニホールド型式：SS5Y3，SS5Y5，SS5Y7

・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ セス装置に実績多数。 ・各種安全規格に対応。 ・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。

・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ セス装置に実績多数。 ・各種安全規格に対応。 ・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。

・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ セス装置に実績多数。 ・各種安全規格に対応。 ・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。

高温環境に対応! 周囲温度 ：最大45℃ 入口空気温度：最大65℃ 16.4m³/min(従来機種比 24%アップ)

・小型、軽量。 ・使用流体温度：-5～150℃ ・材質：金属部SUS316、シール部特殊FKM ・ノングリース、蒸気使用可。食品衛生法適合。

1000万回以上/ライフ10倍以上 高いピーク圧力と少ない空気消費量 ピーク圧力：15%向上、空気消費量：35%削減 使用流体温度： -40～60℃ 低温から高温まで幅広い温度範囲に対応

・工場内循環水との直接熱交換器。 ・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。 ・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ セス装置に実績多数。 ・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。 ・インバータタイプの選択可能。

・工場内循環水との直接熱交換器。 ・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。 ・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ セス装置に実績多数。 ・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。 ・インバータタイプの選択可能。

小型、軽量。 使用流体温度：-5～150℃ 材質：金属部SUS316、シール部特殊FKM ノングリース、蒸気使用可。食品衛生法適合。

適用流体：水、エチレングリコール水溶液。軽量：最大53%削減(40L/min、温度センサ付の場合)。IO-Linkに対応。3色表示・2画面表示対応。温度センサ&流量調整弁に対応。使用流体温度0～90℃。3画面4チャンネルフローモニタ PFG200 Series対応

・真空1.3×10-2kPa使用可能。 ・ナットを外さず配管可能。 ・使用流体温度：-5～150℃(黄銅スリーブ) -5～60℃(樹脂スリーブ) ・蒸気使用可能。 ・ノングリース仕様。

・保持時消費電力を大幅に低減(約1/3) ・コイル温度上昇低下

・小型、軽量。 ・使用流体温度：-5～150℃ ・材質：金属部SUS316、シール部特殊FKM ・ノングリース、蒸気使用可。食品衛生法適合。