移動ガイドにボールブッシュを使用した中精度の自動ステージです。各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。
種類Xステージ
送り方式送りねじ
移動ガイドボールブッシュ
仕様(送りねじ)ボールねじ
表面処理(テーブル)白アルマイト梨地
繰返し精度(mm)±0.003
センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
分解能0.002mm
適合ケーブルACB-STD2、ACB-STD3
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向X軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.015
使用モータPK543NBW相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
送りねじリード(mm)1
ロストモーション(mm)0.01
最高速度(mm/s)16(8000pps時)
材質(テーブル)アルミ合金
20mm角の5相ステッピングモータを採用した小型の自動ステージです。15mm移動と50mm移動のタイプがあります。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
移動方向X軸1方向
種類Xステージ
表面処理(テーブル)黒アルマイト梨地
センサーリミットセンサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、ホールIC
分解能0.001mm
適合ケーブルACB-STS2
耐荷重(N)19.6
送り方式送りねじ
使用モータPK513PB相当(5線式ペンタゴン結線、0.35A/相)
送りねじリード(mm)0.5
最高速度(mm/s)8(8000pps時)
テーブル幅(mm)30
テーブル長さ(mm)30
材質(テーブル)アルミ合金
20mm角の5相ステッピングモータを採用した小型の自動ステージです。移動ガイドにV溝とクロスローラを採用し非常に高精度な移動が可能です。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)30
テーブル幅(mm)30
耐荷重(N)14.7
送り方式送りねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
質量(kg)0.32
表面処理(テーブル)黒アルマイト梨地
繰返し精度(mm)±0.0005
センサーリミットセンサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、ホールIC
分解能0.001mm
適合ケーブルACB-STS2
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.008
使用モータPK513PB相当(5線式ペンタゴン結線、0.35A/相)
送りねじリード(mm)0.5
位置決め精度(mm)0.015
ロストモーション(mm)0.0005
最高速度(mm/s)8(8000pps時)
材質(テーブル)アルミ合金
1個
¥189,800
税込¥208,780
5日以内出荷
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性の自動ステージです。精密ねじ仕様、ボールねじ仕様、ボールねじ 仕様スケール付があります。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類Xステージ
耐荷重(N)49
送り方式送りねじ
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
表面処理(テーブル)黒アルマイト梨地
センサー原点・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
適合ケーブルACB-STM2、ACB-STM3
移動方向X軸1方向
使用モータPK523HPB相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
材質(テーブル)アルミ合金
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性の自動ステージです。精密ねじ仕様、ボールねじ仕様、ボールねじ 仕様スケール付があります。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類Zステージ
耐荷重(N)19.6
送り方式送りねじ
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
表面処理(テーブル)黒アルマイト梨地
センサー原点・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
適合ケーブルACB-STM2、ACB-STM3
移動方向Z軸1方向
使用モータPK523HPB相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
材質(テーブル)アルミ合金
20mm角の5相ステッピングモータを採用した小型の自動ステージです。移動ガイドにボールウェイを使用しています。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
耐荷重(N)19.6(2kgf)
移動ガイドボールウェイ
質量(kg)0.27
付属品検査合格証、六角穴付ボルト(低頭)M2.5 6本
材質ステンレス
移動方向X軸1方向
移動量(mm)±25
ステージ寸法(mm)30×30
使用モータPK513PB相当(5相ペンタゴン結線、0.35A/相)
分解能(mm)0.002
送りねじリード(mm)1
移動精度(mm)HV:真直度(水平・垂直)0.015
位置決め精度(mm)0.02
繰返し精度(mm)±0.001
ロストモーション(mm)0.007
最高速度(mm/s)16(8000pps時)
表面処理低温黒色クロムメッキ
センサーリミット:ノーマルクローズ接点(ブレイク接点、B接点)動作、フォトセンサ
適合ケーブル専用ケーブル(ACB-STT2)を付属
仕様ボールねじ仕様
種類xステージ
1台
¥139,800
税込¥153,780
5日以内出荷
移動ガイドにボールウェイを使用した長作動自動ステージです。
各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。
原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。
ステッピングモーターαSTEPの採用により応答性の高い、高速な位置決めが可能です。
ステッピングモーターα用ドライバ(オリエンタルモーター社製)が付属します。
種類Xステージ
テーブル長さ(mm)200
テーブル幅(mm)200
耐荷重(N)490
送り方式送りねじ
移動ガイドボールウェイ
仕様(送りねじ)ボールねじ
表面処理(テーブル)白アルマイト梨地
繰返し精度(mm)±0.002
センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向X軸1方向
送りねじリード(mm)5
ロストモーション(mm)0.005
材質(テーブル)アルミ合金
モータにドライバ・コントローラ・エンコーダ一体型のクールマッスルCM1を搭載しています。
RS-232Cにより、専門のプログラミング言語でモータへのプログラム、またダイレクトモードでの駆動が可能です。
顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。
標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。
種類xyステージ
送り方式送りねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
表面処理(テーブル)黒アルマイト梨地
繰返し精度(mm)±0.002
移動方向XY軸2方向
送りねじリード(mm)1
最高速度(mm/s)16(8000pps時)
材質(テーブル)アルミ合金
移動ガイドにボールウェイを使用した長作動自動XYステージです。
各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。
原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。
ステッピングモーターαSTEPの採用により応答性の高い、高速な位置決めが可能です。
ステッピングモーターα用ドライバ(オリエンタルモーター社製)が付属します。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)200
テーブル幅(mm)200
耐荷重(N)392
送り方式送りねじ
移動ガイドボールウェイ
仕様(送りねじ)ボールねじ
表面処理(テーブル)白アルマイト梨地
繰返し精度(mm)±0.002
センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
送りねじリード(mm)2
ロストモーション(mm)0.002
材質(テーブル)アルミ合金
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性の自動ステージです。精密ねじ仕様、ボールねじ仕様、ボールねじ仕様 スケール付があります。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
耐荷重(N)39.2
送り方式送りねじ
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
表面処理(テーブル)黒アルマイト梨地
センサー原点・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
適合ケーブルACB-STM2、ACB-STM3
移動方向XY軸2方向
使用モータPK523HPB相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
材質(テーブル)アルミ合金
移動ガイドにボールブッシュを使用した中精度の自動ステージです。各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。
種類Zステージ
送り方式送りねじ
移動ガイドボールブッシュ
表面処理(テーブル)白アルマイト梨地
繰返し精度(mm)±0.003
センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
分解能0.002mm
適合ケーブルACB-STD2、ACB-STD3
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向Z軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.015
使用モータPK545NAW相当 電磁ブレーキ付(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
送りねじリード(mm)1
ロストモーション(mm)0.01
最高速度(mm/s)10(5000pps時)
材質(テーブル)アルミ合金
移動ガイドにボールブッシュを使用した中精度の自動XYステージです。各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。
種類xyステージ
送り方式送りねじ
移動ガイドボールブッシュ
仕様(送りねじ)ボールねじ
表面処理(テーブル)白アルマイト梨地
センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
分解能0.002mm
適合ケーブルACB-BTD2・ACB-BTD3
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
使用モータPK543NBW相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
送りねじリード(mm)1
最高速度(mm/s)16(8000pps時)
材質(テーブル)アルミ合金
コントローラ/ドライバとステージを接続するケーブル類です。
種類接続ケーブル
RoHS指令(10物質対応)10物質対応
コントローラ/ドライバとステージを接続するケーブル類です。ドライバ側切り離し接続ケーブルはステージ側のコネクタのみ配線してあります。お客様にてドライバをご用意する場合にご使用下さい。
種類切り離しケーブル
ケーブル長(m)3
RoHS指令(10物質対応)10物質対応
コントローラQT-Bシリーズと0.35Aモータを使用したステージ(□30小型ステージ、オートマイクロ)を接続するために使用する変換ケーブルです。長さは200mmになります。
ケーブル長(m)0.2
RoHS指令(10物質対応)10物質対応
ケーブル種類接続ケーブル
1台
¥5,998
税込¥6,598
3日以内出荷
ステージ側のコネクタのみ配線してあります。お客様にてドライバをご用意する場合にご使用ください。
種類切り離しケーブル
ケーブル長(m)3
RoHS指令(10物質対応)10物質対応
1台
¥8,598
税込¥9,458
3日以内出荷
ACB-RSS-2はQT-Aシリーズをシリアル通信制御する場合に使用します。このケーブルは規格に準じた一般的な仕様のものです。
種類インターフェースケーブル
ケーブル長(m)1.5
RoHS指令(10物質対応)10物質対応
1台
¥4,798
税込¥5,278
10日以内出荷
QT-Aシリーズコントローラを使用して、ステッピングモータ駆動の自動ステージ等を動かすためのケーブルです。コントトーラ/ドライバ側のコネクタのみ配線しています。
ケーブル長(m)3
RoHS指令(10物質対応)対応
旧QTシリーズをUSB通信制御する場合に使用します。このケーブルは規格に準じた一般的な仕様のものです。
ケーブル長(m)1.8
1個
¥2,898
税込¥3,188
10日以内出荷
QT-Bシリーズコントローラを使用して、ステッピングモータ駆動の自動ステージ等を動かすためのケーブルです。コントトーラ/ドライバ側のコネクタのみ配線しています。
ケーブル長(m)3
RoHS指令(10物質対応)10物質対応
ケーブル種類切り離しケーブル(m)
1台
¥8,598
税込¥9,458
3日以内出荷
2軸と3軸のQT-AシリーズをPCと1対1でイーサネット通信制御する場合に使用します。このケーブルは規格に準じた一般的な仕様のものです。
ケーブル長(m)2
1個
¥1,998
税込¥2,198
当日出荷
コントローラ/ドライバとステージを接続するケーブル類です。耐屈曲性・耐ねじれ性に優れたロボットケーブルを使用していますのでケーブルを引き回す環境の多い箇所での使用に最適です。
ケーブル長(m)3
RoHS指令(10物質対応)10物質対応
ケーブル種類切り離しケーブル
1台
¥14,980
税込¥16,478
3日以内出荷
コントローラ/ドライバとステージを接続するケーブルです。
ケーブル長(m)1.5
RoHS指令(10物質対応)10物質対応
コントローラ/ドライバとステージを接続するケーブル類です。耐屈曲性・耐ねじれ性に優れたロボットケーブルを使用していますのでケーブルを引き回す環境の多い箇所での使用に最適です。
ケーブル長(m)3
RoHS指令(10物質対応)対応
ケーブル種類切り離しケーブル
コントローラ/ドライバとステージを接続するケーブル類です。耐屈曲性・耐ねじれ性に優れたロボットケーブルを使用していますのでケーブルを引き回す環境の多い箇所での使用に最適です。
ケーブル長(m)3
RoHS指令(10物質対応)対応
ケーブル種類接続ケーブル
コントローラ/ドライバとステージを接続するケーブル類です。耐屈曲性・耐ねじれ性に優れたロボットケーブルを使用していますのでケーブルを引き回す環境の多い箇所での使用に最適です。
ケーブル長(m)3
RoHS指令(10物質対応)10物質対応
ケーブル種類切り離しケーブル
1台
¥14,980
税込¥16,478
3日以内出荷
オートマイクロは電動のマイクロメータヘッドです。径・長さともに、非常にコンパクトです。メーカーの手動ステージ等に使用しているマイクロメータヘッドと取り付け互換性があります。スピンドルキャップの交換で先端平面、先端球面を選択できます。
質量(kg)0.13
ケーブル長(m)2
使用温度(℃)20±10
取付穴径(Φmm)9.5 (0-0.009)
推力(kN)0.0686(7kgf)
RoHS指令(10物質対応)対応
移動量(mm)0~15
使用モータコアレスギヤドモータ
最高速度(mm/s)1
1個
¥33,980
税込¥37,378
3日以内出荷
オートマイクロは電動のマイクロメータヘッドです。径・長さともに、非常にコンパクトです。メーカーの手動ステージ等に使用しているマイクロメータヘッドと取り付け互換性があります。スピンドルキャップの交換で先端平面、先端球面を選択できます。
質量(kg)0.14
ケーブル長(m)2
使用温度(℃)20±10
取付穴径(Φmm)10 (0-0.009)
推力(kN)0.0686(7kgf)
RoHS指令(10物質対応)対応
移動量(mm)0~25
使用モータコアレスギヤドモータ
最高速度(mm/s)1
1個
¥33,980
税込¥37,378
15日以内出荷
オートマイクロコントローラはオートマイクロを駆動するための専用コントローラです。それぞれ1軸ずつ切り替えて駆動することが可能です。リミット検出に過電流リミッタを使用していますので、オートマイクロの移動両端だけではなく使用するステージなどの移動限界でもリミット停止が可能です。オートマイクロの動作スピードはボリュームにより無段階で可変します。TTL信号により外部制御の送りが可能です。
質量(kg)0.6
寸法(幅W×奥行D×高さH)(mm)180×125×70(突起部含まず)
制御軸数4軸
1個
¥66,980
税込¥73,678
3日以内出荷
オートマイクロは電動のマイクロメータヘッドです。径・長さともに、非常にコンパクトです。メーカーの手動ステージ等に使用しているマイクロメータヘッドと取り付け互換性があります。スピンドルキャップの交換で先端平面、先端球面を選択できます。
質量(kg)0.13
ケーブル長(m)2
使用温度(℃)20±10
取付穴径(Φmm)9.5 (0-0.009)
推力(kN)0.0686(7kgf)
RoHS指令(10物質対応)対応
移動量(mm)0~13
使用モータコアレスギヤドモータ
最高速度(mm/s)1
1個
¥29,980
税込¥32,978
15日以内出荷
移動ガイドにV溝とクロスローラを使用した高精度の自動ステージです。各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。
種類Zステージ
耐荷重(N)98
送り方式送りねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
表面処理(テーブル)カニゼンメッキ/白アルマイト梨地、(ベース)塗装
センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
分解能0.002mm
適合ケーブルACB-STD2、ACB-STD3
材質(ブラケット)アルミ
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向Z軸1方向
使用モータPK545NAW相当 電磁ブレーキ付(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
送りねじリード(mm)1
ロストモーション(mm)0.001
最高速度(mm/s)10(5000pps時)
材質(テーブル)鋼材
MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。3インチから300mmウェハまで幅広く対応しています。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。
適合8インチ、300mm用
RoHS指令(10物質対応)対応
1個
¥71,980
税込¥79,178
20日以内出荷
移動ガイドにV溝とクロスローラを採用した高精度Z昇降ステージです。ステージ面サイズは125mm×12mmです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
仕様●リミットセンサ:ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ●原点前センサ:ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
備考QT-Bシリーズ接続ステージ選択(パラメータNo.4): 14
種類Zステージ
繰返し精度(mm)±0.001
平行度(mm)0.05
分解能(mm)0.001
適合ケーブルACB-BTD2、ACB-BTD3、ARC-BTD3
耐荷重(N)98(10kgf)
RoHS指令(10物質対応)10物質対応
移動方向Z軸1方向
送り方式送りねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.008
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 1、ピッチ剛性 1、ロール剛性 0.05
移動量(mm)0~40
使用モータPKP564FN相当品
送りねじリード(mm)1
位置決め精度(mm)0.03
ロストモーション(mm)0.002
最高速度(mm/s)5(5000pps時)
テーブル幅(mm)125
テーブル長さ(mm)125
原点センサノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ
1台
¥469,800
税込¥516,780
20日以内出荷
移動ガイドにV溝とクロスローラを採用した高精度Z昇降ステージです。ステージ面サイズは125mm×125mmです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
仕様●リミットセンサ:ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ●原点前センサ:ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
備考QT-Bシリーズ接続ステージ選択(パラメータNo.4): 14
種類Zステージ
繰返し精度(mm)±0.0008
平行度(mm)0.04
分解能(mm)0.001
適合ケーブルACB-BTD2、ACB-BTD3、ARC-BTD3
耐荷重(N)98(10kgf)
RoHS指令(10物質対応)10物質対応
移動方向X軸1方向
送り方式送りねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.005
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 1.5、ピッチ剛性 1.5、ロール剛性 0.05
移動量(mm)0~20
使用モータPKP545N18B2
送りねじリード(mm)1
位置決め精度(mm)0.01
ロストモーション(mm)0.001
最高速度(mm/s)5(5000pps時)
テーブル幅(mm)125
テーブル長さ(mm)125
原点センサノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ
1台
¥389,800
税込¥428,780
20日以内出荷
新規ステッピングモータを使用することにで低振動、低騒音を可能にしました。移動ガイドにボールウェイを使用した長作動自動ステージです。各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。テーブル落下防止の電磁ブレーキがついています(QT-BKが必要です)。ALZ-230-C2B1からZブラケットを取りはずしたものがALS-230-C2B1になります。
仕様●リミットセンサ:ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ●原点前センサ:ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
備考QT-Bシリーズ接続ステージ選択(パラメータNo.4): 14
種類Zステージ
分解能(mm)0.004
適合ケーブルACB-BTD2、ACB-BTD3、ARC-BTD3
耐荷重(N)78.4(8kgf)
RoHS指令(10物質対応)10物質対応
移動方向Z軸1方向
送り方式ボールねじ
移動ガイドボールウェイ
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.02
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.03、ピッチ剛性 0.5、ロール剛性 0.4
移動量(mm)±150
使用モータPKP545N18B2 電磁ブレーキ付
送りねじリード(mm)2
位置決め精度(mm)0.03
ロストモーション(mm)0.002
最高速度(mm/s)24(6000pps時)
テーブル幅(mm)200
テーブル長さ(mm)200
原点センサノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ
1台
¥459,800
税込¥505,780
30日以内出荷
新規ステッピングモータを使用することで低振動、低騒音を可能にしました。移動ガイドにボールウェイを採用した長作動自動ステージです。各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。
備考QT-Bシリーズ接続ステージ選択(パラメータNo.4): 14
繰返し精度(mm)±0.002
適合ケーブルACB-BTD2、ACB-BTD3、ARC-BTD3
耐荷重(N)490(50kgf)
RoHS指令(10物質対応)10物質対応
移動方向X軸1方向
移動ガイドボールウェイ
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.02、ピッチ剛性 0.02、ロール剛性 0.02
使用モータPKP545N18B2
送りねじ種類ボールねじ
原点センサノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ
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