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機械精度を追求した超高精度の自動XYステージです。各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。
種類Zステージ
耐荷重(N)98
送り方式送りねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
表面処理(テーブル)カニゼンメッキ、(ベース)塗装、(ブラケット)塗装
繰返し精度(mm)±0.0005
センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
分解能0.002mm
適合ケーブルACB-STD2、ACB-STD3
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向Z軸1方向
使用モータPK545NAW相当 電磁ブレーキ付(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
送りねじリード(mm)1
ロストモーション(mm)0.0005
最高速度(mm/s)10(5000pps時)
材質(テーブル)鋼材
移動ガイドにボールブッシュを使用した中精度の自動XYステージです。各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。
種類xyステージ
送り方式送りねじ
移動ガイドボールブッシュ
仕様(送りねじ)ボールねじ
表面処理(テーブル)白アルマイト梨地
センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
分解能0.002mm
適合ケーブルACB-BTD2・ACB-BTD3
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
使用モータPK543NBW相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
送りねじリード(mm)1
最高速度(mm/s)16(8000pps時)
材質(テーブル)アルミ合金
移動ガイドにボールウェイを使用した中精度の長作動自動ステージです。各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。
種類Zステージ
テーブル長さ(mm)200
テーブル幅(mm)200
耐荷重(N)78.4
送り方式送りねじ
移動ガイドボールウェイ
表面処理(テーブル)白アルマイト梨地
繰返し精度(mm)±0.002
センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
分解能0.004mm
適合ケーブルACB-STD2、ACB-STD3
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向Z軸1方向
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.03、ピッチ剛性：0.5、ロール剛性：0.4
使用モータPK545NAW相当 電磁ブレーキ付(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
送りねじリード(mm)2
ロストモーション(mm)0.002
最高速度(mm/s)20(5000pps時)
材質(テーブル)アルミ合金
機械精度を追求した超高精度の自動Xステージです。各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。
種類Xステージ
送り方式送りねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
仕様(送りねじ)ボールねじ
表面処理(テーブル)カニゼンメッキ、(ベース)塗装
繰返し精度(mm)±0.0005
センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
分解能0.002mm
適合ケーブルACB-STD2、ACB-STD3
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向X軸1方向
送りねじリード(mm)1
ロストモーション(mm)0.0005
最高速度(mm/s)16(8000pps時)
材質(テーブル)鋼材
移動ガイドにボールブッシュを使用した中精度の自動ステージです。各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。
種類Xステージ
送り方式送りねじ
移動ガイドボールブッシュ
仕様(送りねじ)ボールねじ
表面処理(テーブル)白アルマイト梨地
繰返し精度(mm)±0.003
センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
分解能0.002mm
適合ケーブルACB-STD2、ACB-STD3
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向X軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.015
使用モータPK543NBW相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
送りねじリード(mm)1
ロストモーション(mm)0.01
最高速度(mm/s)16(8000pps時)
材質(テーブル)アルミ合金
移動ガイドにボールブッシュを使用した中精度の自動ステージです。各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。
種類Zステージ
送り方式送りねじ
移動ガイドボールブッシュ
表面処理(テーブル)白アルマイト梨地
繰返し精度(mm)±0.003
センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
分解能0.002mm
適合ケーブルACB-STD2、ACB-STD3
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向Z軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.015
使用モータPK545NAW相当 電磁ブレーキ付(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
送りねじリード(mm)1
ロストモーション(mm)0.01
最高速度(mm/s)10(5000pps時)
材質(テーブル)アルミ合金
機械精度を追求した超高精度の自動XYステージです。各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。
種類xyステージ
送り方式送りねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
仕様(送りねじ)ボールねじ
表面処理(テーブル)カニゼンメッキ、(ベース)塗装
繰返し精度(mm)±0.0005
センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
分解能0.002mm
適合ケーブルACB-STD2、ACB-STD3
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
送りねじリード(mm)1
ロストモーション(mm)0.0005
最高速度(mm/s)16(8000pps時)
材質(テーブル)鋼材
移動ガイドにV溝とクロスローラをを採用した高精度の自動XYステージです。
移動ガイドにはクリーンルームグリスを塗布しています。
各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。
原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。
種類xyステージ
送り方式送りねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
仕様(送りねじ)ボールねじ
表面処理(テーブル)カニゼンメッキ、(ベース)塗装
センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
分解能0.002mm
適合ケーブルACB-STD2、ACB-STD3
移動方向XY軸2方向
送りねじリード(mm)1
ロストモーション(mm)0.001
最高速度(mm/s)16(8000pps時)
材質(テーブル)鋼材
移動ガイドにV溝とクロスローラを使用した高精度の自動ステージです。各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。
種類Zステージ
耐荷重(N)98
送り方式送りねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
表面処理(テーブル)カニゼンメッキ/白アルマイト梨地、(ベース)塗装
センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
分解能0.002mm
適合ケーブルACB-STD2、ACB-STD3
材質(ブラケット)アルミ
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向Z軸1方向
使用モータPK545NAW相当 電磁ブレーキ付(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
送りねじリード(mm)1
ロストモーション(mm)0.001
最高速度(mm/s)10(5000pps時)
材質(テーブル)鋼材
移動ガイドにボールウェイを使用した長作動自動ステージです。
各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。
原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。
ステッピングモーターαSTEPの採用により応答性の高い、高速な位置決めが可能です。
ステッピングモーターα用ドライバ(オリエンタルモーター社製)が付属します。
種類Xステージ
テーブル長さ(mm)200
テーブル幅(mm)200
耐荷重(N)490
送り方式送りねじ
移動ガイドボールウェイ
仕様(送りねじ)ボールねじ
表面処理(テーブル)白アルマイト梨地
繰返し精度(mm)±0.002
センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向X軸1方向
送りねじリード(mm)2
ロストモーション(mm)0.002
材質(テーブル)アルミ合金
移動ガイドにV溝とクロスローラを使用した高精度の自動ステージです。
移動ガイドにはクリーンルームグリスを塗布しています。
各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。
原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。
種類Xステージ
送り方式送りねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
仕様(送りねじ)ボールねじ
表面処理(テーブル)カニゼンメッキ、(ベース)塗装
センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
分解能0.002mm
適合ケーブルACB-STD2、ACB-STD3
移動方向X軸1方向
送りねじリード(mm)1
ロストモーション(mm)0.001
最高速度(mm/s)16(8000pps時)
材質(テーブル)鋼材
移動ガイドにボールウェイを使用した長作動自動XYステージです。
各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。
原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。
ステッピングモーターαSTEPの採用により応答性の高い、高速な位置決めが可能です。
ステッピングモーターα用ドライバ(オリエンタルモーター社製)が付属します。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)200
テーブル幅(mm)200
耐荷重(N)392
送り方式送りねじ
移動ガイドボールウェイ
仕様(送りねじ)ボールねじ
表面処理(テーブル)白アルマイト梨地
繰返し精度(mm)±0.002
センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
送りねじリード(mm)2
ロストモーション(mm)0.002
材質(テーブル)アルミ合金
移動ガイドにボールウェイを使用した長作動自動XYステージです。
各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。
原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。
ステッピングモーターαSTEPの採用により応答性の高い、高速な位置決めが可能です。
ステッピングモーターα用ドライバ(オリエンタルモーター社製)が付属します。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)200
テーブル幅(mm)200
耐荷重(N)392
送り方式送りねじ
移動ガイドボールウェイ
仕様(送りねじ)ボールねじ
表面処理(テーブル)白アルマイト梨地
繰返し精度(mm)±0.002
センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
送りねじリード(mm)5
ロストモーション(mm)0.005
材質(テーブル)アルミ合金
移動ガイドにボールウェイを使用した長作動自動ステージです。
各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。
原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。
ステッピングモーターαSTEPの採用により応答性の高い、高速な位置決めが可能です。
ステッピングモーターα用ドライバ(オリエンタルモーター社製)が付属します。
種類Xステージ
テーブル長さ(mm)200
テーブル幅(mm)200
耐荷重(N)490
送り方式送りねじ
移動ガイドボールウェイ
仕様(送りねじ)ボールねじ
表面処理(テーブル)白アルマイト梨地
繰返し精度(mm)±0.002
センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向X軸1方向
送りねじリード(mm)5
ロストモーション(mm)0.005
材質(テーブル)アルミ合金
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性ステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類Xステージ
テーブル長さ(mm)40
テーブル幅(mm)40
耐荷重(N)98
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.2
平行度(mm)0.015、運動の平行度：0.007
材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向X軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001、ヨーイング15sec、ピッチング25sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.04、ピッチ剛性：0.04、ロール剛性：0.02
許容モーメント荷重(N・cm)ヨー：500、ピッチ：500、ロール：500
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性ステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)60
テーブル幅(mm)60
耐荷重(N)192.1
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
平行度(mm)0.030、運動の平行度：0.014
材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001ヨーイング15sec、ピッチング25sec
許容モーメント荷重(N・cm)ヨー：1200、ピッチ：1200、ロール：1200
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性ステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類Xステージ
テーブル長さ(mm)40
テーブル幅(mm)40
耐荷重(N)98
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.2
平行度(mm)0.015、運動の平行度：0.007
材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向X軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001、ヨーイング15sec、ピッチング25sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.04、ピッチ剛性：0.04、ロール剛性：0.02
許容モーメント荷重(N・cm)ヨー：500、ピッチ：500、ロール：500
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性ステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)70
テーブル幅(mm)70
耐荷重(N)239.1
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
平行度(mm)0.030、運動の平行度：0.014
材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001ヨーイング15sec、ピッチング25sec
許容モーメント荷重(N・cm)ヨー：1500、ピッチ：1500、ロール：1500
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性ステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)40
テーブル幅(mm)40
耐荷重(N)95.2
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.4
平行度(mm)0.030、運動の平行度：0.014
材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001ヨーイング15sec、ピッチング25sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.08、ピッチ剛性 0.06、ロール剛性 0.06
許容モーメント荷重(N・cm)ヨー：500、ピッチ：500、ロール：500
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性ステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)50
テーブル幅(mm)50
耐荷重(N)144.2
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.6
平行度(mm)0.030、運動の平行度：0.014
材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001ヨーイング15sec、ピッチング25sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.08、ピッチ剛性 0.06、ロール剛性 0.06
許容モーメント荷重(N・cm)ヨー：800、ピッチ：800、ロール：800
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性ステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類Xステージ
テーブル長さ(mm)60
テーブル幅(mm)60
耐荷重(N)196
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
平行度(mm)0.015、運動の平行度：0.007
材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム
移動方向X軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001、ヨーイング15sec、ピッチング25sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.04、ピッチ剛性：0.04、ロール剛性：0.02
許容モーメント荷重(N・cm)ヨー：1200、ピッチ：1200、ロール：1200
HG-VCR方式に主材質アルミ合金を採用し剛性、軽量を両立したステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類Zステージ
テーブル長さ(mm)60
テーブル幅(mm)60
耐荷重(N)19.6
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.44
クランプ板クランプ
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向Z軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002、ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.05、ピッチ剛性 0.20、ロール剛性 0.20
垂直度(mm)0.080、運動の垂直度：0.030
HG-VCR方式とアルミ合金を組み合わせ剛性、軽量を両立した昇降型のZ軸ステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類Zステージ
テーブル長さ(mm)70
テーブル幅(mm)70
耐荷重(N)29.3
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.1
材質(ベース)アルミ合金/黒アルマイト梨地
材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム
移動方向Z軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.005
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 1.0、ピッチ剛性 2.5、ロール剛性 0.4
許容モーメント荷重(N・cm)ヨー：150、ピッチ：100、ロール：160
垂直度(mm)0.01
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性ステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)50
テーブル幅(mm)50
耐荷重(N)144.2
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.6
平行度(mm)0.030、運動の平行度：0.014
材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001ヨーイング15sec、ピッチング25sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.08、ピッチ剛性 0.06、ロール剛性 0.06
許容モーメント荷重(N・cm)ヨー：800、ピッチ：800、ロール：800
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性ステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類Xステージ
テーブル長さ(mm)70
テーブル幅(mm)70
耐荷重(N)245
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
平行度(mm)0.015、運動の平行度：0.007
材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム
移動方向X軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001、ヨーイング15sec、ピッチング25sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.04、ピッチ剛性：0.04、ロール剛性：0.02
許容モーメント荷重(N・cm)ヨー：1500、ピッチ：1500、ロール：1500
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性ステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)60
テーブル幅(mm)60
耐荷重(N)192.1
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
平行度(mm)0.030、運動の平行度：0.014
材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001ヨーイング15sec、ピッチング25sec
許容モーメント荷重(N・cm)ヨー：1200、ピッチ：1200、ロール：1200
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性ステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)40
テーブル幅(mm)40
耐荷重(N)95.2
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.4
平行度(mm)0.030、運動の平行度：0.014
材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001ヨーイング15sec、ピッチング25sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.08、ピッチ剛性 0.06、ロール剛性 0.06
許容モーメント荷重(N・cm)ヨー：500、ピッチ：500、ロール：500
HG-VCR方式に主材質アルミ合金を採用し剛性、軽量を両立したステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)70
テーブル幅(mm)70
耐荷重(N)78.4
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.5
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.050、運動の平行度：0.020
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.06、ピッチ剛性：0.20、ロール剛性：0.20
HG-VCR方式に主材質アルミ合金を採用し剛性、軽量を両立したステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)40
テーブル幅(mm)40
耐荷重(N)39.2
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.23
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.050、運動の平行度：0.020
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.40、ピッチ剛性 1.00、ロール剛性 1.00
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性ステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類Zステージ
テーブル長さ(mm)70
テーブル幅(mm)70
耐荷重(N)49
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム、(Zブラケット)アルミ合金/黒アルマイト梨地
移動方向Z軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001、ヨーイング15sec、ピッチング25sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.04、ピッチ剛性 0.04、ロール剛性 0.02
許容モーメント荷重(N・cm)ヨー：1500、ピッチ：1500、ロール：1500
垂直度(mm)0.065、運動の垂直度：0.025
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性ステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類Xステージ
テーブル長さ(mm)50
テーブル幅(mm)50
耐荷重(N)147
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.3
平行度(mm)0.015、運動の平行度：0.007
材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向X軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001、ヨーイング15sec、ピッチング25sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.04、ピッチ剛性：0.04、ロール剛性：0.02
許容モーメント荷重(N・cm)ヨー：800、ピッチ：800、ロール：800
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性ステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類Xステージ
テーブル長さ(mm)50
テーブル幅(mm)50
耐荷重(N)147
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.3
平行度(mm)0.015、運動の平行度：0.007
材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向X軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001、ヨーイング15sec、ピッチング25sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.04、ピッチ剛性：0.04、ロール剛性：0.02
許容モーメント荷重(N・cm)ヨー：800、ピッチ：800、ロール：800
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性ステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類Zステージ
テーブル長さ(mm)70
テーブル幅(mm)70
耐荷重(N)49
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム、(Zブラケット)アルミ合金/黒アルマイト梨地
移動方向Z軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001、ヨーイング15sec、ピッチング25sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.04、ピッチ剛性 0.04、ロール剛性 0.02
許容モーメント荷重(N・cm)ヨー：1500、ピッチ：1500、ロール：1500
垂直度(mm)0.065、運動の垂直度：0.025
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性ステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類Zステージ
テーブル長さ(mm)50
テーブル幅(mm)50
耐荷重(N)49
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.45
材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム、(Zブラケット)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向Z軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001、ヨーイング15sec、ピッチング25sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.04、ピッチ剛性 0.04、ロール剛性 0.02
許容モーメント荷重(N・cm)ヨー：800、ピッチ：800、ロール：800
垂直度(mm)0.065、運動の垂直度：0.025
HG-VCR方式に主材質アルミ合金を採用し剛性、軽量を両立したステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類Zステージ
テーブル長さ(mm)50
テーブル幅(mm)50
耐荷重(N)19.6
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.34
クランプ板クランプ
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向Z軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002、ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.10、ピッチ剛性 0.30、ロール剛性 0.30
垂直度(mm)0.080、運動の垂直度：0.030
HG-VCR方式に主材質アルミ合金を採用し剛性、軽量を両立したステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類Xステージ
テーブル長さ(mm)30
テーブル幅(mm)30
耐荷重(N)19.6
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.06
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.030、運動の平行度：0.010
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向X軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002、ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：1.00、ピッチ剛性：1.00、ロール剛性：1.00
HG-VCR方式に主材質アルミ合金を採用し剛性、軽量を両立したステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類Xステージ
テーブル長さ(mm)30
テーブル幅(mm)30
耐荷重(N)19.6
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.06
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.030、運動の平行度：0.010
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向X軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002、ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：1.00、ピッチ剛性：1.00、ロール剛性：1.00
HG-VCR方式に主材質アルミ合金を採用し剛性、軽量を両立したステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)60
テーブル幅(mm)60
耐荷重(N)58.8
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.42
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.050、運動の平行度：0.020
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.10、ピッチ剛性：0.40、ロール剛性：0.40
HG-VCR方式に主材質アルミ合金を採用し剛性、軽量を両立したステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)50
テーブル幅(mm)50
耐荷重(N)49
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.33
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.050、運動の平行度：0.020
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.20、ピッチ剛性：0.60、ロール剛性：0.60
X軸方向の微動ユニットです。移動ガイドにアリ溝(D-T方式)を使用し、送り方式に送りねじを使用しています。カメラ、センサなどの位置決め用途に広く利用いただけます。任意の位置で保持力の高いレバー式クランプによる固定が可能です。
種類Xステージ
送り方式送りねじP=0.5mm
移動ガイドアリ溝
材質(ベース)アルミ合金/黒アルマイト梨地
材質/処理(テーブル)真鍮/クロム
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向X軸1方向
移動精度(mm)真直度0.03
移動量(ツマミ1回転)約0.5mm
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