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設定不要で導入が容易な液面検出器です。純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します。薬液槽の液面検出に適したエア方式で、薬液雰囲気による腐食や引火の心配がありません。接液部は検出チューブのみで、本体は薬液から離して設置できるため、腐食・防爆対策が容易です。蒸気、飛沫、雫、温度、薬液(刺激臭、引火性、腐食性)の影響を受けないため、対策費用が抑えられ、設置も簡単です。コンパクトなため、槽付近の場所を取らずにウェハなどの搬入・搬出の障害になりません。常時エアを検出チューブから出しているため薬液雰囲気の逆流を防止します。ダイアフラムの耐久性を向上させ、100万回動作保証です。従来品より25%軽量化しました。

ADK11のメンテナンス部品、プランジャ・ダイアフラム組立とコア組立のセット形番です。

マルチレックスバルブ ABシリーズ用コイル固定部品キット(部品)です。

マルチレックスバルブ AB41シリーズ用コア組立・プランジャ組立キット(部品)です。

蒸気専用電磁弁です。差圧0から作動します。耐久回数100万回を実現しました。ソレノイド構造を変更し、作動時の衝撃を緩和することにより耐久性が大幅に向上しました。PTFE角リングによる特殊シール構造で外部シール力を向上、高温蒸気における外部漏れリスク低減しています。異物に強いピストン構造です。

蒸気専用電磁弁です。差圧0から作動します。耐久回数100万回を実現しました。ソレノイド構造を変更し、作動時の衝撃を緩和することにより耐久性が大幅に向上しました。PTFE角リングによる特殊シール構造で外部シール力を向上、高温蒸気における外部漏れリスク低減しています。異物に強いピストン構造です。

蒸気専用電磁弁です。差圧0から作動します。耐久回数100万回を実現しました。ソレノイド構造を変更し、作動時の衝撃を緩和することにより耐久性が大幅に向上しました。PTFE角リングによる特殊シール構造で外部シール力を向上、高温蒸気における外部漏れリスク低減しています。異物に強いピストン構造です。

マルチレックスバルブ AB42シリーズ用コア組立・NO弁組立キット(部品)です。

マルチレックスバルブ AB41-8シリーズ用コア組立・プランジャ組立キット(部品)です。

マルチレックスバルブ AG41，43，44シリーズ用コイル固定部品キット(部品)です。

屋外で使用可能な2ポート電磁弁です。低温での使用が可能で、最低周囲温度はー20℃から対応します。屋外想定試験である促進対候性試験を1000時間(3年加速相当)、複合サイクル試験を960時間(7年加速相当)、オゾン暴露試験を400時間、クリアしました。耐候性を配慮した部品を採用し、屋外など過酷な環境での使用を想定しています。(錆対応、防塵・防水(IP65)など)。パイロットキック式で、作動圧力差0でも作動します。

多種流体を制御。ボディ材質とシール材の組合せ。により、多種類の流体に対応で。きます。豊富なオプション。オープンフレーム、ダイオード。内蔵コイル、端子箱などオプ。ションが豊富。多彩なシリーズ・バリエーション。直動小形タイプのRc1/8(接続。口径)からRc1まで、幅広くお。選びいただけます。

蒸気用パイロットキック式2ポート電磁弁 SPK11シリーズ用のコイル組立です。

設定不要で導入が容易な液面検出器のマニホールドタイプです。供給ポートは”上下左右”方向自在、プラグ施工箇所を減らし(7→3箇所)作業性を改善しました。ブロック連結構造の採用により連数変更が可能になりました。純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します。薬液槽の液面検出に適したエア方式で、薬液雰囲気による腐食や引火の心配がありません。接液部は検出チューブのみで、本体は薬液から離して設置できるため、腐食・防爆対策が容易です。蒸気、飛沫、雫、温度、薬液(刺激臭、引火性、腐食性)の影響を受けないため、対策費用が抑えられ、設置も簡単です。コンパクトなため、槽付近の場所を取らずにウェハなどの搬入・搬出の障害になりません。常時エアを検出チューブから出しているため薬液雰囲気の逆流を防止します。ダイアフラムの耐久性を向上させ、100万回動作保証です。

蒸気専用電磁弁です。差圧0から作動します。耐久回数100万回を実現しました。ソレノイド構造を変更し、作動時の衝撃を緩和することにより耐久性が大幅に向上しました。PTFE角リングによる特殊シール構造で外部シール力を向上、高温蒸気における外部漏れリスク低減しています。異物に強いピストン構造です。

マルチレックスバルブ AD12シリーズ用のコイル固定部品キットです。

マルチレックスバルブ ADK11シリーズ用のコイル固定部品キットです。

マルチレックスバルブ AP11シリーズ用のコイル固定部品キットです。

マルチレックスバルブ AP21シリーズ用のコイル固定部品キットです。

蒸気専用電磁弁です。差圧0から作動します。耐久回数100万回を実現しました。ソレノイド構造を変更し、作動時の衝撃を緩和することにより耐久性が大幅に向上しました。PTFE角リングによる特殊シール構造で外部シール力を向上、高温蒸気における外部漏れリスク低減しています。異物に強いピストン構造です。

蒸気専用電磁弁です。差圧0から作動します。耐久回数100万回を実現しました。ソレノイド構造を変更し、作動時の衝撃を緩和することにより耐久性が大幅に向上しました。PTFE角リングによる特殊シール構造で外部シール力を向上、高温蒸気における外部漏れリスク低減しています。異物に強いピストン構造です。

マルチレックスバルブ AP12シリーズ用のコイル固定部品キットです。

マルチレックスバルブ AD21シリーズ用のコイル固定部品キットです。

蒸気専用電磁弁です。差圧0から作動します。耐久回数100万回を実現しました。ソレノイド構造を変更し、作動時の衝撃を緩和することにより耐久性が大幅に向上しました。PTFE角リングによる特殊シール構造で外部シール力を向上、高温蒸気における外部漏れリスク低減しています。異物に強いピストン構造です。

蒸気専用電磁弁です。差圧0から作動します。耐久回数100万回を実現しました。ソレノイド構造を変更し、作動時の衝撃を緩和することにより耐久性が大幅に向上しました。PTFE角リングによる特殊シール構造で外部シール力を向上、高温蒸気における外部漏れリスク低減しています。異物に強いピストン構造です。

蒸気専用電磁弁です。差圧0から作動します。耐久回数100万回を実現しました。ソレノイド構造を変更し、作動時の衝撃を緩和することにより耐久性が大幅に向上しました。PTFE角リングによる特殊シール構造で外部シール力を向上、高温蒸気における外部漏れリスク低減しています。異物に強いピストン構造です。

蒸気専用電磁弁です。差圧0から作動します。耐久回数100万回を実現しました。ソレノイド構造を変更し、作動時の衝撃を緩和することにより耐久性が大幅に向上しました。PTFE角リングによる特殊シール構造で外部シール力を向上、高温蒸気における外部漏れリスク低減しています。異物に強いピストン構造です。

蒸気専用電磁弁です。差圧0から作動します。耐久回数100万回を実現しました。ソレノイド構造を変更し、作動時の衝撃を緩和することにより耐久性が大幅に向上しました。PTFE角リングによる特殊シール構造で外部シール力を向上、高温蒸気における外部漏れリスク低減しています。異物に強いピストン構造です。

蒸気専用電磁弁です。差圧0から作動します。耐久回数100万回を実現しました。ソレノイド構造を変更し、作動時の衝撃を緩和することにより耐久性が大幅に向上しました。PTFE角リングによる特殊シール構造で外部シール力を向上、高温蒸気における外部漏れリスク低減しています。異物に強いピストン構造です。

マルチレックスバルブ AP22シリーズ用のコイル固定部品キットです。

マルチレックスバルブ AD22シリーズ用のコイル固定部品キットです。

マルチレックスバルブ AD11シリーズ用のコイル固定部品キットです。

マルチレックスバルブ AB31シリーズ用コア組立・プランジャ組立キット(部品)です。

マルチレックスバルブ AG33シリーズ用コア組立・プランジャ組立キット(部品)です。

マルチレックスバルブ AG31シリーズ用コア組立・プランジャ組立キット(部品)です。