絞り込み
種類
- 傾斜ステージ(1)
テーブル長さ(mm)
- 130
- 30(2)
- 40(9)
- 50(9)
- 60(11)
- 70(9)
- 75(2)
- 85(1)
- 90(13)
- 100(10)
- 120(2)
- 125(16)
- 150(6)
- 155(1)
- 160(4)
- 165(1)
- 200(11)
- 210(1)
テーブル幅(mm)
- 130(2)
移動ガイド
- クロスローラ(2)
- クロスローラベアリング(1)
耐荷重(N)
- 58.8(1)
- 98(1)
- 196(1)
送り方式
- ウォーム&ウォームホイール(1)
- ボールねじ(1)
ウォーム&ウォームホイール・ボールねじ
ブランド
- 神津精機(2)
神津精機
エコロジープロダクト
RoHS10物質対応(1)
RoHS10物質対応
薄型アライメントステージ
神津精機￥699,800税込￥769,7801台62日以内出荷タイプステージ結線:V3(3軸共通)コネクタ形状丸形20ピン(ヒロセ: RP13A-12JG-20PC)(3軸共通)分解能(μm)XY:1/0.5(フル/ハーフ)分解能θ:0.000674°/0.000337°(フル/ハーフ)有効移動範囲(mm)XY：±5センサー型式XYθ:F-115(HOME、 LIMIT)繰返し精度(μm)XY：≦±0.5(位置決め)真直度(μm)[水平/垂直]XY:≦ 1リード(mm)1偏心θ：≦3μm/±5°自重(kg)4.5耐荷重(N)196(20kgf)送り方式ボールネジ移動ガイドXY：精密クロスローラガイド、θ：クロスローラベアリングバックラッシュXY：≦ 1μm θ：≦ 0.005°使用モータPK523HPMB(オリエンタルモーター: 定格電流 0.75A/相、基本ステップ角 0.36°、 リード線5本)(3軸共通)ロストモーション(mm)XY：≦ 0.002最高速度(mm/s)XY：10 : Half 20kpps移動量(°)θ：±5ロストモーション(°)θ：≦ 0.005最高速度(°/s)θ：6.74 : Half 20kpps振れ(μm)θ：≦5/±5°テーブル幅(mm)130テーブル長さ(mm)130モーメント荷重(arcsec/N・cm)XY：0.1再現性(度)θ：≦ 0.001
