シグマ光機の自動ステージ

ガイドにベアリングを採用し、送り機構にはウォームギアを使用したステッピングモータ駆動の回転ステージです。

自動ステージとコントローラまたはドライバ間の接続ケーブルです

最大19mmの粗動と高分解能の調整を兼ね備えたコンパクトな差動マイクロメーターヘッドです。

手動操作、メモリ設定などを行うために必要です。

5相ステッピングモータドライバを内蔵した1軸のステージコントローラです。 RS232Cインターフェイスによる外部制御と、フロントパネルのジョグスイッチ、外部I/Oによるジョグ駆動が可能です

ボールネジとボールガイドを採用した、高精度・耐久性に優れた自動直動ステージです。

本体にガイドを施し、精密研削ネジを使用した低価格な自動ステージです。

高剛性・高精度に対応した計測、検査用のZ軸ステッピングモータ駆動ステージです。 上下に移動するステージ面は水平で、スムーズな移動が得られます。同社独自の省スペースに配慮した設計により、モータも本体に組込んだコンパクトな水平面Z軸ステージです。突起部分を極力抑えているため装置組込用途にも最適です。

高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。

小型、高推力のDCモータ採用した安価なアクチュエータです。

手動ステージに使用しているマイクロメーターヘッドの取り付け部分と互換性を持った製品です。

手動ステージ、ホルダーなどに使用している粗粗微動マイクロメーターヘッドです。

手動ステージ、ホルダーなどに使用している移動量15mm以下のマイクロメーターヘッドです。

クロスローラガイドを使用したステッピングモータ駆動の自動ゴニオステージです。 耐摩耗性に優れたクロスローラガイドを採用した高剛性のゴニオステージです。 テーブル面から回転中心の高さを75mm/100mm/130mmをご用意しており、用途に合わせてご選定いただけます。

ガイドにベアリングを採用し、送り機構にはウォームギアを使用したステッピングモータ駆動の回転ステージです。

各種ドライバです。

真空環境に対応したリミットセンサを搭載した自動ステージです。

真空環境に対応した自動回転ステージです。Φ60mmの省スペースに対応した小型タイプは、実験用、検査装置のチャンバー内でのご使用に最適です。

小型・薄型・高耐久性の3要素を兼ね備えたクロスローラ自動ステージです。

動作確認や自動化アプリケーション作成、プログラム開発のサポート用ソフトウェアをご用意しています。

ACサーボモータ駆動の高精度・高剛性ステージです。

動作確認や自動化アプリケーション作成、プログラム開発のサポート用ソフトウェアをご用意しています。

焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度自動ゴニオステージです。

焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度自動ゴニオステージです。

高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。

高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。

高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。

高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。

高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。

高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。

高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。

専用ステージコントローラ(SHOT-302GS/304GS・HIT-M・HIT-S)を使用する事で、高精度で信頼性の高いフルクローズドループシステムを実現する事ができます。

専用ステージコントローラ(SHOT-302GS/304GS・HIT-M・HIT-S)を使用する事で、高精度で信頼性の高いフルクローズドループシステムを実現する事ができます。

半導体ウェハーのマーカなどのアライメントに使用する微小角調整用の自動回転ステージです。

自動ステージとコントローラまたはドライバ間の接続ケーブルです。

小型高性能ステッピングモータと精密研削ネジを組合せた低価格のアクチュエータです。

リモートアクチュエータ(SGDC)専用のコントローラとアクチュエータの切替スイッチボックスです。

手動ステージに使用しているマイクロメーターヘッドの取り付け部分と互換性を持った製品です。