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- azbil(旧:山武)
- ロバートショウ(3)
- SMC(1)
- CKD(1)
パネルマウントマスフローコントローラ：MPCazbil(旧:山武)￥169,800～税込￥186,780～
1個
21日以内出荷から111日以内出荷
● パネルマウント形マスフローコントローラ：制御盤前面からの操作・設定が可能
● 質量流量を高精度に制御：ガス流量を設定値に追従させ、安定したプロセスを実現
● 表示・操作一体型：流量表示、設定、状態確認を本体パネルで完結
● 装置組込みに最適：半導体・FPD・分析装置などに幅広く採用
用途● プロセスガス流量制御：成膜、エッチング、洗浄、雰囲気制御
● 装置用ガス供給制御：半導体・FPD・研究開発装置
● 分析・試験用途：分析計、評価装置での精密流量制御
● ガス消費量の安定化：品質ばらつきの低減・再現性向上
パネルマウントマスフローコントローラ：MPC用ローダパッケージazbil(旧:山武)￥87,980税込￥96,778
1個
32日以内出荷
パネルマウントマスフローコントローラ：MPC用のパソコン設定ツールです。
小型デジタルマスフローコントローラ：F4Hシリーズazbil(旧:山武)￥229,800～税込￥252,780～
1個
40日以内出荷から61日以内出荷
●高応答・高制御性能：0.3 秒応答など、従来機の優れた制御性を継承。 ●小型化：幅28mm、従来比50%の小型化で装置の省スペース化に貢献。
●RS-485通信(CPL/Modbus)搭載：PLCとプログラムレス接続可能。
●強力な耐ノイズ性：電源回路と信号回路の絶縁によりノイズの影響を低減。
●トータルコスト削減：アナログI/O不要で配線量・PLCコスト削減が可能。
用途●半導体製造装置のプロセスガス流量制御：高応答・高精度が要求されるガス供給制御に最適
●一般産業のガス流量自動制御：各種産業ガス(空気・窒素・CO2・H2 など)の正確な流量調整。
●装置組込み用途(省スペース機器)小型化により分析装置・実験装置・小型製造装置に組込みやすい。
●IoT・設備監視用途：流量データを通信で監視し、状態診断や予防保全に活用。
![水・油・エアー 高耐圧用耐圧ホース[トヨシグナルホース TSG] TOYOX(トヨックス)](https://jp.images-monotaro.com/Monotaro3/pi/middle/mono74056719-240621-02.jpg "水・油・エアー 高耐圧用耐圧ホース[トヨシグナルホース TSG] TOYOX(トヨックス)")