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パネルマウントマスフローコントローラ：MPC
azbil(旧:山武)￥169,800～税込￥186,780～1個21日以内出荷から111日以内出荷● パネルマウント形マスフローコントローラ：制御盤前面からの操作・設定が可能 ● 質量流量を高精度に制御：ガス流量を設定値に追従させ、安定したプロセスを実現 ● 表示・操作一体型：流量表示、設定、状態確認を本体パネルで完結 ● 装置組込みに最適：半導体・FPD・分析装置などに幅広く採用用途● プロセスガス流量制御：成膜、エッチング、洗浄、雰囲気制御 ● 装置用ガス供給制御：半導体・FPD・研究開発装置 ● 分析・試験用途：分析計、評価装置での精密流量制御 ● ガス消費量の安定化：品質ばらつきの低減・再現性向上
パネルマウントマスフローコントローラ：MPC用ローダパッケージ
azbil(旧:山武)￥87,980税込￥96,7781個32日以内出荷パネルマウントマスフローコントローラ：MPC用のパソコン設定ツールです。
小型デジタルマスフローコントローラ：F4Hシリーズ
azbil(旧:山武)￥229,800～税込￥252,780～1個40日以内出荷から61日以内出荷●高応答・高制御性能：0.3 秒応答など、従来機の優れた制御性を継承。 ●小型化：幅28mm、従来比50%の小型化で装置の省スペース化に貢献。 ●RS-485通信(CPL/Modbus)搭載：PLCとプログラムレス接続可能。 ●強力な耐ノイズ性：電源回路と信号回路の絶縁によりノイズの影響を低減。 ●トータルコスト削減：アナログI/O不要で配線量・PLCコスト削減が可能。用途●半導体製造装置のプロセスガス流量制御：高応答・高精度が要求されるガス供給制御に最適 ●一般産業のガス流量自動制御：各種産業ガス(空気・窒素・CO2・H2 など)の正確な流量調整。 ●装置組込み用途(省スペース機器)小型化により分析装置・実験装置・小型製造装置に組込みやすい。 ●IoT・設備監視用途：流量データを通信で監視し、状態診断や予防保全に活用。
