商品豆知識
一般流体用電磁弁(空気、水、蒸気用)。機種も、使用流体、圧力、口径で幅広くそろっています。
用途通電時開形
使用圧力(MPa)0.05~1
作動方式パイロット式
ポート数2
ねじの種類Rc
最高使用圧力(MPa)1.0
使用流体蒸気
流体温度(℃)5~180
周囲温度(℃)-10~60
差圧0から作動。低圧、高圧いずれも動作確実。通電時開形
作動方式パイロットキック式
ポート数2
使用流体蒸気
材質(ガスケット)PTFE材料
材質(ボディ)青銅
耐熱クラスH
取付姿勢コイル部を上にした垂直取付に限定する。
弁座漏れ(cm3/min)400以下(ただし、空圧0.05~0.7(0.5)MPa)
コイルオープンフレームリード線コイル
周囲温度(℃)0~70
蒸気用パイロットキック式2ポート電磁弁 SPK11シリーズ用のコイル組立です。
用途メンテナンス用に
その他【属性】部品
対象機種SPK11シリーズ
電圧AC
構成4コイル組立、5ウェーブワッシャ×1
RoHS指令(10物質対応)対応
蒸気専用電磁弁です。差圧0から作動します。耐久回数100万回を実現しました。ソレノイド構造を変更し、作動時の衝撃を緩和することにより耐久性が大幅に向上しました。PTFE角リングによる特殊シール構造で外部シール力を向上、高温蒸気における外部漏れリスク低減しています。異物に強いピストン構造です。
用途蒸気のON/OFF用に
接続口径Rc1/2
最高使用圧力(MPa)1
オリフィス径(Φmm)16
使用流体蒸気
流体温度(℃)5~180(凍結のないこと)
材質(ボディ)青銅
耐熱クラスクラス180(H)
取付姿勢コイルを上にした垂直姿勢から水平姿勢の範囲に限定する
雰囲気腐食性ガス、爆発性ガスのない場所
弁構造パイロットキック式ポペット構造 ピストン駆動
周囲温度(℃)-10~60
作動圧力差範囲(MPa)0~1.0
RoHS指令(10物質対応)対応
処理方法禁油処理
蒸気専用電磁弁です。差圧0から作動します。耐久回数100万回を実現しました。ソレノイド構造を変更し、作動時の衝撃を緩和することにより耐久性が大幅に向上しました。PTFE角リングによる特殊シール構造で外部シール力を向上、高温蒸気における外部漏れリスク低減しています。異物に強いピストン構造です。
用途蒸気のON/OFF用に
接続口径Rc1/2
最高使用圧力(MPa)1
オリフィス径(Φmm)16
使用流体蒸気
流体温度(℃)5~180(凍結のないこと)
材質(ボディ)青銅
耐熱クラスクラス180(H)
取付姿勢コイルを上にした垂直姿勢から水平姿勢の範囲に限定する
雰囲気腐食性ガス、爆発性ガスのない場所
弁構造パイロットキック式ポペット構造 ピストン駆動
周囲温度(℃)-10~60
作動圧力差範囲(MPa)0~1.0
RoHS指令(10物質対応)対応
SPK11のメンテナンス部品、プランジャ・主弁組立とコア組立のセット形番です。
用途メンテナンス用に
その他【属性】部品
電圧AC
コイルハウジング4A(リード線)、4M(HP端子箱付)、4N(HP端子箱ランプ付)
構成6コア組立、7コアガスケット、8プランジャばね、9プランジャ・主弁組立、10ボディガスケット×1
RoHS指令(10物質対応)対応
蒸気専用電磁弁です。差圧0から作動します。耐久回数100万回を実現しました。ソレノイド構造を変更し、作動時の衝撃を緩和することにより耐久性が大幅に向上しました。PTFE角リングによる特殊シール構造で外部シール力を向上、高温蒸気における外部漏れリスク低減しています。異物に強いピストン構造です。
用途蒸気のON/OFF用に
接続口径Rc3/4
最高使用圧力(MPa)1
オリフィス径(Φmm)23
使用流体蒸気
流体温度(℃)5~180(凍結のないこと)
材質(ボディ)青銅
耐熱クラスクラス180(H)
取付姿勢コイルを上にした垂直姿勢から水平姿勢の範囲に限定する
雰囲気腐食性ガス、爆発性ガスのない場所
弁構造パイロットキック式ポペット構造 ピストン駆動
周囲温度(℃)-10~60
作動圧力差範囲(MPa)0~1.0
RoHS指令(10物質対応)対応
蒸気専用電磁弁です。差圧0から作動します。耐久回数100万回を実現しました。ソレノイド構造を変更し、作動時の衝撃を緩和することにより耐久性が大幅に向上しました。PTFE角リングによる特殊シール構造で外部シール力を向上、高温蒸気における外部漏れリスク低減しています。異物に強いピストン構造です。
用途蒸気のON/OFF用に
接続口径Rc1
最高使用圧力(MPa)1
オリフィス径(Φmm)28
使用流体蒸気
流体温度(℃)5~180(凍結のないこと)
材質(ボディ)ステンレス
耐熱クラスクラス180(H)
取付姿勢コイルを上にした垂直姿勢から水平姿勢の範囲に限定する
雰囲気腐食性ガス、爆発性ガスのない場所
弁構造パイロットキック式ポペット構造 ピストン駆動
周囲温度(℃)-10~60
作動圧力差範囲(MPa)0~1.0
RoHS指令(10物質対応)対応
蒸気専用電磁弁です。差圧0から作動します。耐久回数100万回を実現しました。ソレノイド構造を変更し、作動時の衝撃を緩和することにより耐久性が大幅に向上しました。PTFE角リングによる特殊シール構造で外部シール力を向上、高温蒸気における外部漏れリスク低減しています。異物に強いピストン構造です。
用途蒸気のON/OFF用に
接続口径Rc3/4
最高使用圧力(MPa)1
オリフィス径(Φmm)23
使用流体蒸気
流体温度(℃)5~180(凍結のないこと)
材質(ボディ)ステンレス
耐熱クラスクラス180(H)
取付姿勢コイルを上にした垂直姿勢から水平姿勢の範囲に限定する
雰囲気腐食性ガス、爆発性ガスのない場所
弁構造パイロットキック式ポペット構造 ピストン駆動
周囲温度(℃)-10~60
作動圧力差範囲(MPa)0~1.0
RoHS指令(10物質対応)対応
蒸気専用電磁弁です。差圧0から作動します。耐久回数100万回を実現しました。ソレノイド構造を変更し、作動時の衝撃を緩和することにより耐久性が大幅に向上しました。PTFE角リングによる特殊シール構造で外部シール力を向上、高温蒸気における外部漏れリスク低減しています。異物に強いピストン構造です。
用途蒸気のON/OFF用に
接続口径Rc1/2
最高使用圧力(MPa)1
オリフィス径(Φmm)16
使用流体蒸気
流体温度(℃)5~180(凍結のないこと)
材質(ボディ)ステンレス
耐熱クラスクラス180(H)
取付姿勢コイルを上にした垂直姿勢から水平姿勢の範囲に限定する
雰囲気腐食性ガス、爆発性ガスのない場所
弁構造パイロットキック式ポペット構造 ピストン駆動
周囲温度(℃)-10~60
作動圧力差範囲(MPa)0~1.0
RoHS指令(10物質対応)対応
蒸気専用電磁弁です。差圧0から作動します。耐久回数100万回を実現しました。ソレノイド構造を変更し、作動時の衝撃を緩和することにより耐久性が大幅に向上しました。PTFE角リングによる特殊シール構造で外部シール力を向上、高温蒸気における外部漏れリスク低減しています。異物に強いピストン構造です。
用途蒸気のON/OFF用に
接続口径Rc1
最高使用圧力(MPa)1
オリフィス径(Φmm)28
使用流体蒸気
流体温度(℃)5~180(凍結のないこと)
材質(ボディ)青銅
耐熱クラスクラス180(H)
取付姿勢コイルを上にした垂直姿勢から水平姿勢の範囲に限定する
雰囲気腐食性ガス、爆発性ガスのない場所
弁構造パイロットキック式ポペット構造 ピストン駆動
周囲温度(℃)-10~60
作動圧力差範囲(MPa)0~1.0
RoHS指令(10物質対応)対応
蒸気専用電磁弁です。差圧0から作動します。耐久回数100万回を実現しました。ソレノイド構造を変更し、作動時の衝撃を緩和することにより耐久性が大幅に向上しました。PTFE角リングによる特殊シール構造で外部シール力を向上、高温蒸気における外部漏れリスク低減しています。異物に強いピストン構造です。
用途蒸気のON/OFF用に
接続口径Rc3/4
最高使用圧力(MPa)1
オリフィス径(Φmm)23
使用流体蒸気
流体温度(℃)5~180(凍結のないこと)
材質(ボディ)青銅
耐熱クラスクラス180(H)
取付姿勢コイルを上にした垂直姿勢から水平姿勢の範囲に限定する
雰囲気腐食性ガス、爆発性ガスのない場所
弁構造パイロットキック式ポペット構造 ピストン駆動
周囲温度(℃)-10~60
作動圧力差範囲(MPa)0~1.0
RoHS指令(10物質対応)対応
処理方法禁油処理
蒸気専用電磁弁です。差圧0から作動します。耐久回数100万回を実現しました。ソレノイド構造を変更し、作動時の衝撃を緩和することにより耐久性が大幅に向上しました。PTFE角リングによる特殊シール構造で外部シール力を向上、高温蒸気における外部漏れリスク低減しています。異物に強いピストン構造です。
用途蒸気のON/OFF用に
接続口径Rc3/4
最高使用圧力(MPa)1
オリフィス径(Φmm)23
使用流体蒸気
流体温度(℃)5~180(凍結のないこと)
材質(ボディ)ステンレス
耐熱クラスクラス180(H)
取付姿勢コイルを上にした垂直姿勢から水平姿勢の範囲に限定する
雰囲気腐食性ガス、爆発性ガスのない場所
弁構造パイロットキック式ポペット構造 ピストン駆動
周囲温度(℃)-10~60
作動圧力差範囲(MPa)0~1.0
RoHS指令(10物質対応)対応
処理方法禁油処理
蒸気専用電磁弁です。差圧0から作動します。耐久回数100万回を実現しました。ソレノイド構造を変更し、作動時の衝撃を緩和することにより耐久性が大幅に向上しました。PTFE角リングによる特殊シール構造で外部シール力を向上、高温蒸気における外部漏れリスク低減しています。異物に強いピストン構造です。
用途蒸気のON/OFF用に
接続口径Rc1
最高使用圧力(MPa)1
オリフィス径(Φmm)28
使用流体蒸気
流体温度(℃)5~180(凍結のないこと)
材質(ボディ)ステンレス
耐熱クラスクラス180(H)
取付姿勢コイルを上にした垂直姿勢から水平姿勢の範囲に限定する
雰囲気腐食性ガス、爆発性ガスのない場所
弁構造パイロットキック式ポペット構造 ピストン駆動
周囲温度(℃)-10~60
作動圧力差範囲(MPa)0~1.0
RoHS指令(10物質対応)対応
処理方法禁油処理
蒸気専用電磁弁です。差圧0から作動します。耐久回数100万回を実現しました。ソレノイド構造を変更し、作動時の衝撃を緩和することにより耐久性が大幅に向上しました。PTFE角リングによる特殊シール構造で外部シール力を向上、高温蒸気における外部漏れリスク低減しています。異物に強いピストン構造です。
用途蒸気のON/OFF用に
接続口径Rc1/2
最高使用圧力(MPa)1
オリフィス径(Φmm)16
使用流体蒸気
流体温度(℃)5~180(凍結のないこと)
材質(ボディ)ステンレス
耐熱クラスクラス180(H)
取付姿勢コイルを上にした垂直姿勢から水平姿勢の範囲に限定する
雰囲気腐食性ガス、爆発性ガスのない場所
弁構造パイロットキック式ポペット構造 ピストン駆動
周囲温度(℃)-10~60
作動圧力差範囲(MPa)0~1.0
RoHS指令(10物質対応)対応
処理方法禁油処理
蒸気専用電磁弁です。差圧0から作動します。耐久回数100万回を実現しました。ソレノイド構造を変更し、作動時の衝撃を緩和することにより耐久性が大幅に向上しました。PTFE角リングによる特殊シール構造で外部シール力を向上、高温蒸気における外部漏れリスク低減しています。異物に強いピストン構造です。
用途蒸気のON/OFF用に
接続口径Rc1
最高使用圧力(MPa)1
オリフィス径(Φmm)28
使用流体蒸気
流体温度(℃)5~180(凍結のないこと)
材質(ボディ)青銅
耐熱クラスクラス180(H)
取付姿勢コイルを上にした垂直姿勢から水平姿勢の範囲に限定する
雰囲気腐食性ガス、爆発性ガスのない場所
弁構造パイロットキック式ポペット構造 ピストン駆動
周囲温度(℃)-10~60
作動圧力差範囲(MPa)0~1.0
RoHS指令(10物質対応)対応
処理方法禁油処理
作動方式パイロット式
ポート数2
ねじの種類Rc
使用圧力範囲(MPa)0.05~2(流体:蒸気の場合1)
使用流体蒸気・空気・水・灯油・油
流体温度(℃)5~181
一般流体用電磁弁(空気、水、蒸気用)。機種も、使用流体、圧力、口径で幅広くそろっています。
用途通電時開形
ポート数2
使用圧力(MPa)0~0.7
作動方式パイロットキック式
ねじの種類Rc
最高作動圧力差(MPa)0.7
蒸気用パイロットキック式2ポート電磁弁 SPK11シリーズ用のコイル固定部品キットです。
用途メンテナンス用に
その他【属性】部品
対象機種SPK11シリーズ
電圧AC
コイルハウジング4A(リード線)、4M(HP端子箱付)、4N(HP端子箱ランプ付)
構成1ナット、2スペーサA、平座金、5ウェーブワッシャ×1
RoHS指令(10物質対応)対応
1台
¥869
税込¥956
20日以内出荷
一般流体用電磁弁(空気、水、蒸気用)。機種も、使用流体、圧力、口径で幅広くそろっています。
用途通電時開形
接続口径RC3/4
外形寸法(mm)100×35Φ×159
オリフィス(mm)20
質量(kg)2.2
ポート数2
使用圧力(MPa)0~0.7
作動方式パイロットキック式
ねじの種類Rc
水、空気、ガス、油等、多種類の流体を制御するマルチフレックスバルブシリーズ。高信頼、高品質に加え、オプションバリエーションを豊富に揃え、様々な設備、装置類の性能を確実に高めます。
・水、空気、ガス、油等、多種類の流体を制御するマルチフレックスバルブシリーズ。高信頼、高品質に加え、オプションバリエーションを豊富に揃え、様々な設備、装置類の性能を確実に高めます。ボディ:青銅 シール:ニトリルゴム コイルハウジング:オープンフレーム形リード線。ノーマルクローズ
ポート数2
作動方式パイロット式
ねじの種類Rc
作動区分ノーマルクローズ形
設定不要で導入が容易な液面検出器です。純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します。薬液槽の液面検出に適したエア方式で、薬液雰囲気による腐食や引火の心配がありません。接液部は検出チューブのみで、本体は薬液から離して設置できるため、腐食・防爆対策が容易です。蒸気、飛沫、雫、温度、薬液(刺激臭、引火性、腐食性)の影響を受けないため、対策費用が抑えられ、設置も簡単です。コンパクトなため、槽付近の場所を取らずにウェハなどの搬入・搬出の障害になりません。常時エアを検出チューブから出しているため薬液雰囲気の逆流を防止します。ダイアフラムの耐久性を向上させ、100万回動作保証です。従来品より25%軽量化しました。
用途薬液槽の液面検出に。半導体製造、化学プロセスに最適
付属品ハウジング、端子
質量(kg)0.14
使用温度(℃)【供給ガス】5~60
繰返し精度(mm)±1
使用流体【供給ガス】圧縮空気・窒素ガス
チューブ内径(Φmm)【検出チューブ】4
材質(ボディ)PPS
周囲温度(℃)5~60
チューブ長さ(m)5以内
流量(cm3/分)(消費)750以下(使用圧力20kPa時)/(検出)45±10(使用圧力20kPa時)
材質(ダイアフラム)FKM,FFKM
応差(mm)2
応答時間(ms)200以下(使用圧力20kPa、周囲温度24℃、検出チューブ内径Φ4長さ5m時)
クリーン環境に応えるステンレスハウジング採用の高性能メインラインフィルタです。オイルフリーエアラインの需要に応えるため、ステンレス製ハウジングを採用しました。エレメント交換は、ハウジングの締め付けにバンド方式を採用し、工具不要で容易です。エレメント交換などのメンテナンス時に、ハウジングが落下しないような機構にし、取外し、取付が両手で可能です。フィルタ上部に差圧計の取出口を装備しています。(差圧計付ではありません)
用途油蒸気(オイルペーパー)除去・臭気除去に。臭いを嫌う空気圧回路に
仕様●エレメント交換時期 使用期間:8000時間又は1年●処理空気条件 入口油分濃度(mg/m3 ):0.01●処理空気条件 入口空気圧力(MPa):0.7●処理空気条件 入口空気温度(℃):32●処理空気条件 入口空気露点(℃):圧力露点10℃
使用圧力(MPa)0.1~1.0
使用流体圧縮空気
耐圧力(MPa)1.5
ろ過度(μm)活性炭繊維による吸着
周囲温度(℃)5~60
エレメント型式Xタイプ(臭気除去用フィルタ)
RoHS指令(10物質対応)対応
初期圧力降下(MPa)0.009
二次側油分濃度(mg/m3)0.003
作動方式直動式
ポート数3
弁構造直動式ポペット構造
多種流体を制御、多彩なシリーズ・バリエーション
質量(kg)0.7
消費電力(W)50Hz:10、60Hz:8
コイルハウジングオープンフレーム形(耐熱クラスH)・リード線
最高使用圧力(MPa)2(蒸気の場合は1)
オリフィス(mm)12
作動区分ノーマルクローズ形
耐圧(MPa)4(水圧にて)
使用流体蒸気、水、温水、油(20mm2/s以下)
流体温度(℃)5~180
材質(Oリング)フッ素ゴム
耐熱クラスH
最高作動圧力差(MPa)1(蒸気)
取付姿勢コイルを上にした垂直姿勢から水平姿勢の範囲に限定する(使用圧力が0.05MPa未満の場合は、垂直姿勢に限定します)
皮相電力(VA)[保持時]50Hz:24、60Hz:19、[起動時]50Hz:61、60Hz:54
雰囲気腐食性ガス、爆発性ガスのない場所
弁構造パイロットキック式ポペット構造 ピストン駆動
最低作動圧力差(MPa)0
弁座漏れ(cm3/min)400以下(ANR)(空気にて)(空圧0.05~1.0MPaにおける値。0.05MPa未満で使用の場合にはシールが不安定となりますのでご使用にあたっては問い合わせください)
周囲温度(℃)-10~60
材質(ボディシール)ボディ:青銅、弁シール:PTFE
接続口径3/8
接続方式Rc
耐圧力(MPa)25(水圧にて)
弁構造直動式ポペット構造
種別直動式ユニバーサル
コイルハウジンググロメットリード線
作動方式NO(通電時閉)形
ポート数2
弁構造直動式ポペット構造
水、空気、ガス、油等、多種類の流体を制御するマルチレックスバルブシリーズ。
作動方式直動式
ポート数2
ねじの種類Rc
接続口径(Rc)1/4
定格電圧(V)AC100
質量(kg)0.50
消費電力(W)50Hz/8.760Hz/6.7
材質(シール)ニトリルゴム
有効断面積(mm2)21.1
コイルハウジンググロメットリード線
最高使用圧力(MPa)2(流体/蒸気の場合1)
オリフィス(mm)7.0
耐圧(MPa)25(水圧にて)
使用流体空気、ガス、低真空(1.33×102Pa)、水、灯油、油(50mm2/s以下)
流体温度(℃)-10~60(凍結ないこと)
材質(ボディ)黄銅
耐熱クラスB
最高作動圧力差(MPa)(空気・・水・灯油・油)0.15
取付姿勢自在
皮相電力(VA)保持時(50Hz/60Hz)22/18起動時(50Hz/60Hz)35/29
雰囲気腐食性ガス、爆発性ガスのない場所
弁構造直動式ポペット
弁座漏れ(cm3/min)0(JIS漏れ基準)
周囲温度(℃)-20~60
Cv値1.0
1個
¥14,231
税込¥15,654
当日出荷
圧縮空気中に含まれる「水蒸気」を取り除き、乾燥した圧縮空気にする冷凍式エアドライヤです。消費電力を低減したコンパクトな設計です。エアロスの少ないドレン排出器(ドレントラップ)を採用しています。環境に優しい新冷媒R-410Aを採用しており、オゾン層を破壊しません。オイルフリーエアに対応したステンレス製熱交換器を採用し、熱交換器からの発塵を防止しました。熱交換器内部の冷媒配管(銅管)にはニッケルメッキを施し、耐食性を向上させました。通常点検は操作部の冷媒圧力計と運転ランプにより、運転状態が一目で分かります。高温環境対応能力を向上させ、周囲温度45℃でも運転が可能です。ダストフィルタを標準装備し、コンデンサ清掃の手間を低減します。脱着もきわめて容易です。
用途乾燥した圧縮空気が必要な際に
付属品ドレントラップ、ボールバルブ
質量(kg)37
電圧(V)AC200
使用流体圧縮空気
塗装色外パネル :クオリティクールホワイト(マンセルNO.5GY7.5/0.5)
適合エアコンプレッサ(kw)7.5
周囲温度(℃)2~45
定格周囲温度(℃)32
定格入口空気温度(℃)55
冷媒R-410A
処理空気量(m3/min)(50/60Hz)定格(ANR):1.22/1.32、定格(圧縮機吸込状態):1.28/1.38
出口空気圧力露点(℃)10
入口空気温度(℃)5~80
空気出入口接続口径R 3/4
圧力降下(50/60Hz)(MPa)0.005/0.006
RoHS指令(10物質対応)対応
入口空気圧力(MPa)0.1~1.0、定格:0.7
圧縮空気中に含まれる「水蒸気」を取り除き、乾燥した圧縮空気にする冷凍式エアドライヤです。消費電力を低減したコンパクトな設計です。エアロスの少ないドレン排出器(ドレントラップ)を採用しています。環境に優しい新冷媒R-410Aを採用しており、オゾン層を破壊しません。オイルフリーエアに対応したステンレス製熱交換器を採用し、熱交換器からの発塵を防止しました。熱交換器内部の冷媒配管(銅管)にはニッケルメッキを施し、耐食性を向上させました。通常点検は操作部の冷媒圧力計と運転ランプにより、運転状態が一目で分かります。異常停止の原因が警報ランプの点灯パターンにより判別できるため、異常診断が容易です。高温環境対応能力を向上させ、周囲温度45℃でも運転が可能です。ダストフィルタを標準装備し、コンデンサ清掃の手間を低減します。脱着もきわめて容易です。遠隔操作用端子を標準装備しています。
用途乾燥した圧縮空気が必要な際に
付属品ドレントラップ、ボールバルブ
電圧(V)AC200
使用流体圧縮空気
塗装色外パネル :クオリティクールホワイト(マンセルNO.5GY7.5/0.5)
周囲温度(℃)2~45
定格周囲温度(℃)32
定格入口空気温度(℃)55
冷媒R-410A
出口空気圧力露点(℃)10
入口空気温度(℃)5~80
RoHS指令(10物質対応)対応
入口空気圧力(MPa)0.1~1.0、定格:0.7
設定不要で導入が容易な液面検出器のマニホールドタイプです。供給ポートは”上下左右”方向自在、プラグ施工箇所を減らし(7→3箇所)作業性を改善しました。ブロック連結構造の採用により連数変更が可能になりました。純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します。薬液槽の液面検出に適したエア方式で、薬液雰囲気による腐食や引火の心配がありません。接液部は検出チューブのみで、本体は薬液から離して設置できるため、腐食・防爆対策が容易です。蒸気、飛沫、雫、温度、薬液(刺激臭、引火性、腐食性)の影響を受けないため、対策費用が抑えられ、設置も簡単です。コンパクトなため、槽付近の場所を取らずにウェハなどの搬入・搬出の障害になりません。常時エアを検出チューブから出しているため薬液雰囲気の逆流を防止します。ダイアフラムの耐久性を向上させ、100万回動作保証です。
用途薬液槽の液面検出に。半導体製造、化学プロセスに最適
付属品ハウジング、端子
使用温度(℃)【供給ガス】5~60
繰返し精度(mm)±1
使用流体【供給ガス】圧縮空気・窒素ガス
チューブ内径(Φmm)【検出チューブ】4
材質(ボディ)PPS
周囲温度(℃)5~60
チューブ長さ(m)5以内
流量(cm3/分)(消費)750以下(使用圧力20kPa時)/(検出)45±10(使用圧力20kPa時)
材質(ダイアフラム)FKM,FFKM
応差(mm)2
応答時間(ms)200以下(使用圧力20kPa、周囲温度24℃、検出チューブ内径Φ4長さ5m時)
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