EV0100シリーズ パレクト電空レギュレータCKD4日以内出荷から8日以内出荷
接続口径M5接続方式M電源電圧(V)DC24流量(L/min)最大流量2(ANR)モニター出力アナログ出力DC1~5V圧力レンジ(MPa)0~0.098
EVLシリーズ 低圧電空レギュレータCKD6日以内出荷から12日以内出荷
接続口径1/4・Φ4.3・M3接続方式Rc(IN/OUTポート)・EXHポート・M(バイロット排気ポート(R)プリードポート)電源電圧(V)DC24流量(L/min)最大流量100(ANR)モニター出力アナログ出力DC1~5V圧力レンジ(MPa)0~0.05
EV2100Vシリーズ パレクト電空レギュレータ(真空対応)CKD8日以内出荷
接続口径1/4接続方式Rc電源電圧(V)DC24入力信号10kΩ可変抵抗または0-10VDC(内蔵10VDC電源に接続)流量(L/min)最大流量150(ANR)モニター出力アナログ出力DC1~5V圧力レンジ(MPa)-0.096~-0.1013
ファインレベルスイッチ KML60シリーズ(マニホールド)CKD33日以内出荷から85日以内出荷
設定不要で導入が容易な液面検出器のマニホールドタイプです。1本の検出チューブにて4点の液面検出が可能なKML60シリーズと1点の液面検出が可能なKML502シリーズの混合搭載が可能なマニホールドタイプです。供給ポートは”上下左右”方向自在、プラグ施工箇所を減らし(7→3箇所)作業性を改善しました。ブロック連結構造の採用により連数変更が可能になりました。純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します。薬液槽の液面検出に適したエア方式で、薬液雰囲気による腐食や引火の心配がありません。接液部は検出チューブのみで、本体は薬液から離して設置できるため、腐食・防爆対策が容易です。蒸気、飛沫、雫、温度、薬液(刺激臭、引火性、腐食性)の影響を受けないため、対策費用が抑えられ、設置も簡単です。コンパクトなため、槽付近の場所を取らずにウェハなどの搬入・搬出の障害になりません。常時エアを検出チューブから出しているため薬液雰囲気の逆流を防止します。ダイアフラムの耐久性を向上させ、100万回動作保証です。
用途薬液槽の液面検出に半導体製造、化学プロセスに最適仕様【KML60-4】(スイッチング水位)10~1000mm/ユーザー任意接点4点電源電圧【KML60-4】DC12~24V ±10% 電圧リップル率 5%以下チューブ長さ(m)5以下スイッチ出力【KML60-4】NPNオープンコレクタ4点(DC28V 80mA 以下)
『配管・水廻り部材/ポンプ/空圧・油圧機器・ホース』には他にこんなカテゴリがあります
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セパレーター日立産機システム税込¥54,978¥49,980