圧縮空気により、手軽に真空が得られるマイクロエジェクタ、吸着搬送に欠かせないパッド。真空ラインを制御する真空弁が揃っています。圧縮空気を使った手軽な真空発生装置で、ワークをきずつけずに高速搬送。コンパクトで、可動部への取付けも可能。
形式交換用フィルタ(ME05M用)
1個
¥169
税込¥186
翌々日出荷
圧縮空気により、手軽に真空が得られるマイクロエジェクタ、吸着搬送に欠かせないパッド。真空ラインを制御する真空弁が揃っています。圧縮空気を使った手軽な真空発生装置で、ワークをきずつけずに高速搬送。コンパクトで、可動部への取付けも可能。
仕様●電磁弁仕様:供給エア制御用シングル電磁弁付●電磁弁機能:常時閉(NC)●ポジション数・ポート数:2ポジション・2ポート
形式電磁弁付マイクロエジェクタ(単体用)
使用温度範囲(℃)5~50
電圧(V)DC24
使用圧力範囲(MPa)0.1~0.6
有効断面積(mm2)0.6
作動方式直接作動
空気消費量(L/min)11.5(圧縮)
使用流体空気
保証耐圧力(MPa)1.03
取付方向自由
給油不可
耐衝撃(m/s2)(配管方向)1372.9、(軸方向)117.7
ろ過度(μm)30(フィルタ)(マニホールドのみ)
配管接続口径真空発生ポート:M5×0.8、圧縮空気供給ポート:M5×0.8
最大流量(L/min)(ANR)6.3(真空側)
最高真空圧力(kPa)-86.7
ノズル径(Φmm)0.5
ボタン仕様ノンロック形(手動)
圧縮空気により、手軽に真空が得られるマイクロエジェクタ、吸着搬送に欠かせないパッド。真空ラインを制御する真空弁が揃っています。小形、軽量の運搬システムに最適。吸着ミスがなく、耐久性は抜群です。導電性バキュームパッド、ハロゲン処理バキュームパッドもあります。
空気圧機器をトラブルから守るために各種フィルタ、空気の清浄化と調圧による力のコントロールを実現。外径40mmの真空圧力計。パネルマウント選択可能で装置への組み込みに便利。
1個
¥2,398
税込¥2,638
当日出荷
圧縮空気により、手軽に真空が得られるマイクロエジェクタ、吸着搬送に欠かせないパッド。真空ラインを制御する真空弁が揃っています。圧縮空気を使った手軽な真空発生装置で、ワークをきずつけずに高速搬送。コンパクトで、可動部への取付けも可能。
用途圧縮空気から負圧を発生させる事ができる真空発生器(エジェクタ)
形式電磁弁付マイクロエジェクタ(マニホールド取付用)
使用温度範囲(℃)5~50
電圧(V)DC24
作動方式直接作動
使用流体空気
保証耐圧力(MPa)1.03
取付方向自由
給油不可
ろ過度(μm)30(フィルタ)(マニホールドのみ)
最高真空圧力(kPa)-86.7
ボタン仕様ノンロック形(手動)
流量多段型真空ノズルが選択可能です。
破壊エアを無駄なく真空破壊に使用できる封止弁を搭載してます。
供給側、真空側の継手の脱着が容易です。
仕様封止弁、チェック弁付
質量(g)255
使用圧力範囲(MPa)0.2~0.6
センサーMPS-9
標準供給圧力(MPa)0.5
エア供給ポートサイズP(供給ポート、真空ポート)Rc1/4
用途蒸着、スパッタリングなどの真空成膜装置に、分析機器、リークテスト装置に、真空乾燥、ガス置換など各種真空装置に
仕様サーマルプロテクタなし
材質シリンダー:鋳鉄、ポンプケース:アルミ鋳物
電圧(V)(50Hz)200-240/380-415、(60Hz)200-240/380-460
電源AC
到達圧力(Pa)0.67
使用油R-7
吐出口径VG-40
特性ULVACオリジナルの高効率(IE3)マルチ電圧モーターを採用してます。低振動、低騒音で信頼性の高い油回転真空ポンプです。大気圧付近でも排気速度が低下しにくい強制給油方式を採用しています。メンテナンス性に優れた回転翼型ポンプです。
ポンプの種類油回転
エスコ品番EA112H
排気速度(50/60Hz)(L/min)30
吐出口径UNF7/16-20(1/4”)
吸込口径UNF7/16-20(1/4”)
ポンプの種類油回転
1個
¥23,000
税込¥25,300
翌日出荷
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
ダブルソレノイドによる自己保持機能
マニホールド化可能
デジタル真空スイッチ、電磁弁等の機能の選定が可能
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
ダブルソレノイドによる自己保持機能
マニホールド化可能
デジタル真空スイッチ、電磁弁等の機能の選定が可能
長方形ワーク、縦長・横長のワークに対応
パッド形状:長円平形
取付接続:おねじ、めねじ
真空取出方向:縦、横
真空取付出口:おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手
バッファ:なし、あり
バッファストローク(mm):[ZP]6、10、15、20、25
バッファストローク(mm):[ZP2]10、20、30、40、50
パッドサイズ(mm)8X30
バッファ仕様回り止め付
真空取出方向縦
長方形ワーク、縦長・横長のワークに対応
パッド形状:長円平形
取付接続:おねじ、めねじ
真空取出方向:縦、横
真空取付出口:おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手
バッファ:なし、あり
バッファストローク(mm):[ZP]6、10、15、20、25
バッファストローク(mm):[ZP2]10、20、30、40、50
パッドサイズ(mm)6X20
真空取出方向縦
長方形ワーク、縦長・横長のワークに対応
パッド形状:長円平形
取付接続:おねじ、めねじ
真空取出方向:縦、横
真空取付出口:おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手
バッファ:なし、あり
バッファストローク(mm):[ZP]6、10、15、20、25
バッファストローク(mm):[ZP2]10、20、30、40、50
パッドサイズ(mm)4X20
真空取出方向縦
長方形ワーク、縦長・横長のワークに対応
パッド形状:長円平形
取付接続:おねじ、めねじ
真空取出方向:縦、横
真空取付出口:おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手
バッファ:なし、あり
バッファストローク(mm):[ZP]6、10、15、20、25
バッファストローク(mm):[ZP2]10、20、30、40、50
パッドサイズ(mm)3.5X7
真空取出方向縦
1袋(10個)
¥5,298
税込¥5,828
10日以内出荷
1袋(10個)
¥6,998
税込¥7,698
10日以内出荷
バルブ・スイッチをユニット化
マニホールド化可能
最大吸収流量40%UP
最高真空圧力 -84kPa
バルブ・スイッチをユニット化
マニホールド化可能
最大吸収流量40%UP
最高真空圧力 -84kPa
バルブ・スイッチをユニット化
マニホールド化可能
最大吸収流量40%UP
最高真空圧力 -84kPa
ボックス形にノズル呼び径:Φ1.5、Φ1.8、Φ2.0追加[New]
小型・軽量
全長:最大11%減(直接配管形)
ポート高さ:最大25%減(直接配管形)
容積:最大39%減(ボックス形)
4種類の取付方法
サイレンサ/標準ブラケットを用意
到達真空圧力-90kPa
最高真空圧力(kPa)(S) -90kPa
ボディ形式直接配管形
ノズル径(Φmm)2.0
ボックス形にノズル呼び径:Φ1.5、Φ1.8、Φ2.0追加[New]
小型・軽量
全長:最大11%減(直接配管形)
ポート高さ:最大25%減(直接配管形)
容積:最大39%減(ボックス形)
4種類の取付方法
サイレンサ/標準ブラケットを用意
到達真空圧力-48kPa(ZH05~13D□A);-66kPa(ZH15~20D□A)
最高真空圧力(kPa)(L) -66kPa
ボディ形式直接配管形
ノズル径(Φmm)2.0
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
高速応答:弁応答5ms、真空応答時間28ms
省エネ:空気消費量17%減、到達真空圧力21%向上
小型・軽量:46g
真空用圧力スイッチ付、最大10台まで同時コピー可能
定格電圧(V)(5) DC24
ノズル口径(Φmm)(06) 0.6
排気方式(1) サイレンサ排気(個別排気)
ボディ形式(3) マニホールド用(区別なし)
ノズル径(Φmm)(06) 0.6
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
薄いシート・ガラス基板・柔らかいワーク等の吸着固定に適応吸着部表面にあいている多数の微細な空孔より吸引するため吸着時ワークの変形がありません
高い加工精度
大きな吸着力
形状長方形
ポート(C) 長方形B位置
粒径(mm)(C) Φ0.4
接続ポート位置(C) 長方形B位置
ポート位置長方形B位置
吸着部サイズ□100X100mm
焼結金属エレメント粒径Φ0.3標準
1個
¥99,980
税込¥109,978
16日以内出荷
真空ラインの圧力制御が可能
一面配管仕様をシリーズ化
質量20%減(従来比)
ワンタッチ管継手内蔵
クリップ固定式により圧力計・デジタル圧力スイッチの着脱が容易
圧力計・デジタル圧力スイッチの取付方向変更が可能(標準配管仕様のみ)
圧力計・デジタル圧力スイッチの取付角度(60°刻み)変更が容易
真空機器接続ラインに取付けるだけで空気中の水滴を除去
真空ポンプやエジェクタ等、吸込み空気中の水滴を除去したいなどといった場合に効果的です
ボディサイズ30
『コンプレッサー・空圧機器・ホース』には他にこんなカテゴリがあります
真空機器 の新着商品
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