種類xyステージテーブル長さ(mm)50テーブル幅(mm)50耐荷重(N)144.2移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)質量(kg)0.6平行度(mm)0.030、運動の平行度:0.014材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロムRoHS指令(10物質対応)対応移動方向XY軸2方向移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001ヨーイング15sec、ピッチング25secモーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.08、ピッチ剛性 0.06、ロール剛性 0.06許容モーメント荷重(N・cm)ヨー:800、ピッチ:800、ロール:800