MSAファクトリーの研究関連用品・実験用必需品

駆動部にクロスローラウェイを用いた、精密薄型XYステージです。高耐荷重(20kg)タイプです。

オールテフロン製品なので、耐薬品性に優れています。

ウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱します。ワークは真空吸着により固定できます。付属の温度調節器で精密温度制御が可能です。

ウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱します。ワークは真空吸着により固定できます。付属の温度調節器で精密温度制御が可能です。

ガラス面とホットプレート面の距離が3.5mmで高倍率での顕微鏡観察に対応します。ガラスチャンバー窒素ガス封入式のホットプレートです。ヒーターにはセラミックヒーターを採用し高速昇温が可能です。

最高温度400℃対応の真空ホットプレートチャンバーです。観察窓によりワークの状態が視認できます。金属、ウェハ等の真空雰囲気および低酸素濃度雰囲気下での高速昇温加熱プロセスに適します。