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薄型・精密・大型XYステージ マイクロヘッド駆動 IXYシリーズMSAファクトリー￥149,800～税込￥164,780～
1個
13日以内出荷
駆動部にクロスローラウェイを用いた、精密薄型XYステージです。高耐荷重(20kg)タイプです。
仕様●マイクロメータ最少読み取り：0.01mm/0.005mm(オプション)●駆動分解能：0.01mm材質プレート/アルミ(黒アルマイト)、駆動部/鉄、ステンレス等ストローク(mm)マイクロメータ：±6.5高さ(mm)ステージ面：34耐荷重(kg)20f移動量(mm)1回転当たり：0.5
ウェハホットチャック PH201KシリーズMSAファクトリー￥509,800～税込￥560,780～
1個
43日以内出荷
ウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱します。ワークは真空吸着により固定できます。付属の温度調節器で精密温度制御が可能です。
表面処理金メッキ
ウェハホットチャック PH201SシリーズMSAファクトリー￥389,800～税込￥428,780～
1個
43日以内出荷
ウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱します。ワークは真空吸着により固定できます。付属の温度調節器で精密温度制御が可能です。
表面処理黒アルマイト
顕微鏡用ヒートステージ 流量計付コントローラー仕様 PN-121シリーズ ガスパージ機能付MSAファクトリー￥499,800～税込￥549,780～
1個
33日以内出荷
ガラス面とホットプレート面の距離が3.5mmで高倍率での顕微鏡観察に対応します。ガラスチャンバー窒素ガス封入式のホットプレートです。ヒーターにはセラミックヒーターを採用し高速昇温が可能です。
材質(プレート) アルミニウム寸法(mm)(ホットプレート) 60×34最高温度(℃)200温度精度±2%寸法(Φmm)(ガス導入部) 4電源AC100V 100W電源コード2m
真空チャンバーホットプレート 温度コントローラー付 PH-222シリーズMSAファクトリー￥619,800～税込￥681,780～
1個
63日以内出荷
最高温度400℃対応の真空ホットプレートチャンバーです。観察窓によりワークの状態が視認できます。金属、ウェハ等の真空雰囲気および低酸素濃度雰囲気下での高速昇温加熱プロセスに適します。
材質(プレート) アルミニウム最高温度(℃)400(使用時)ポートワンタッチ継ぎ手Φ6mm電源コード(m)2
ホットプレート 温度コントローラー付き PA10005シリーズMSAファクトリー￥719,800～税込￥791,780～
1個
24日以内出荷
最高温度(℃)1000材質(プレート) 耐熱合金寸法(mm)50×50センサーK熱電対電源AC100V 50/60Hz 1000W電源コード(m)2
