AWシリーズは半導体製造装置の開発・プロセス条件出しや温度分布計測に必要不可欠な”熱電対付きシリコンウェーハ”です
用途シリコンウェーハを用いた半導体製造工程でのレジスト装置内のステージ温度測定等
使用温度範囲(℃)0~500
コード長さ(m)1
許容差±5.0℃(100~200℃における)
熱電対Kタイプ
寸法(inch)(ウェーハ)5
プラグ形状ミニプラグ
点数5(センサー)
研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
抵抗値0.1~100Ω・cm
製造方法CZ法
位置【OF】110
方位【面】100
汎用的な成膜用基板として使用されています。
研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
製造方法CZ法
装置テスト用(条件出し評価、搬送評価など)
仕様(パーティクル)不問、(製造)CZ
型P型(導電型)
サイズ8インチ
直径(Φmm)200±0.5
グレードダミー(モニター)
厚さ(μm)725±25
仕上片面ミラー/裏面エッチング、Vノッチ
抵抗値≧1Ωcm
方位100(面)
1枚
¥8,998
税込¥9,898
欠品中
研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供
仕様(面方位)100、(OF位置)110、パーティクル不問、多様な形状加工と表面処理が可能です(例:ざぐり加工、穴あけ加工、酸化膜付きウェハー)
抵抗値0.1~100Ω・cm※低抵抗:≦0.02Ω・cm、高抵抗:≧500Ω・cm
製造方法CZ法
使用済みシリコンウェハを再生加工して、再度プロセスに使用できるレベルにまで再生したシリコンウェハです。実験用、教育用など様々な用途に、少量からご提供します。
用途製造プロセス用、研究開発用、実験用、教育用
抵抗値1-100Ω・cm
仕様パーティクル:不問
装置テスト用(条件出し評価、搬送評価など)
仕様(パーティクル)不問、(製造)CZ
型P型(導電型)
サイズ6インチ
直径(Φmm)150±0.5
グレードダミー(モニター)
厚さ(μm)625±25
仕上片面ミラー/裏面エッチング、オリフラ
抵抗値≧1Ωcm
方位100(面)
1枚
¥7,998
税込¥8,798
当日出荷
装置テスト用(条件出し評価、搬送評価など)
仕様(パーティクル)不問、(製造)CZ
型P型(導電型)
サイズ4インチ
直径(Φmm)100±0.5
グレードダミー(モニター)
厚さ(μm)525±25
仕上片面ミラー/裏面エッチング、オリフラ
抵抗値≧1Ωcm
方位100(面)
1枚
¥6,998
税込¥7,698
当日出荷
装置テスト用(成膜・レジスト・フォトリソ・エッチングの条件出し評価、パーティクル測定、搬送評価など)
用途装置テスト用
仕様熱酸化膜:1,000ű10%
サイズ8インチ
直径(Φmm)200±0.2
タイプ導電型:P型
厚さ(μm)725±25
仕上Vノッチ、両面成膜
抵抗≧1Ω・cm
方位100(面)
1箱(25枚)
¥179,800
税込¥197,780
10日以内出荷
研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
ベアシリコンウェハから半導体素子ができるまでの過程を体感できるセット内容です。教育現場での半導体についての説明などにご利用ください。
用途教育用
セット内容ベアウェハ(12インチ)、膜付きウェハ(12インチ) 、パターン付きウェハ(20mm角)、半導体素子(ダイオード/トランジスタ)
種類セット品
1セット
¥15,980
税込¥17,578
5日以内出荷
ウェハーの出荷・保管用の容器です。ウェハーの表を下にして収納します。
ポケットの底は円錘状でウェハーエッジのみ接触します。スプリングでウェハーを固定します。
トレー同士またはトレーとカバーの積み重ねが可能で、トレーは互いに固定して積み重ねることもできます。
オールポリプロピレン製。
材質ナチュラルPP(ポリプロピレン)
シリコーンは200℃の熱を加えても、樹脂が溶ける心配がありません。(200℃の物を掴んで熱が伝わるまで15秒)
人の手を基に作られた手形を使用し製造しているので、手の形に添ったフイット感があります。疲れにくい仕様。
-196℃の液体窒素取扱いに対応。
食品現場で使用される次亜塩素酸の取扱い使用可能。完全防水なので液体の侵入も心配ありません。
ダイローブの耐熱用手袋はそのシリコーンをアウター手袋に使用し、インナー手袋には断熱素材を使用して熱の伝わりを抑えた二重構造の手袋です。
手に触れる面にはメーカー独自の特殊加工を施しているので、発塵しにくい構造となっています。クリーンルーム内での耐熱作業時に活躍します。
※その他詳細はメーカーページをご覧ください。
用途半導体、シリコンウェーハ製造、潤滑油製造、自動車部品製造、工業用ゴム製品製造、冷熱システム製造、化粧品製造、鋳鉄製造、食品業界(菓子製造、パン製造工場、水産練り製品製造、飲料製造、乳製品製造、肉製品製造、レトルト製造、給食センター等)、熱湯での洗浄作業、メッキ工場、ファーストフード店、マントルヒーターなどクリーンルーム内での耐熱作業時に。
色白
厚さ(mm)2.95(裏地含む)
材質(裏)化繊
規格CEマーキング
機能耐熱・低発塵・完全防水・-196℃
入数(双)1
耐熱温度(℃)200
寸法(mm)10×10×0.525
タイプノンドープ
研磨内容片面鏡面
クリンコートVLは特に超精密部品の保護用に開発しました不純物を含まない高品質の保護剤です。従来、精密部品の表面の汚れや傷、割れ等の損傷を防ぐため特殊なパッケージで保護していましたが、クリンコートVLを使用することにより極めて手軽に、また完全に保護できます。速乾性の薄い丈夫な被膜を形成します。硬化した被膜は極めて容易に剥離できます。不純物を含んでいませんので、剥離した品物の表面にはほとんど残渣もありません。不純物や重金属は一切含んでいませんので赤色の透明な膜を形成します。被膜を剥離しますと品物の表面に付着していた汚れも取れます。被膜を剥離する時は品物の端にセロテープを貼って引っ張るだけで簡単にはがせます。
用途レンズ、ガラス部品の保護・各種半導体シリコンウェーハやガラスフォートマスクの保護・コンパクトディスク(CD)の型の保護・その他各種精密部品の保護
危険等級Ⅱ
危険物の類別第四類
危険物の品名第一石油類
RoHS指令(10物質対応)対応
関連資料(0.08MB)
各種成膜用基板として使用されています。
寸法(mm)10×10×0.5
研磨内容片面鏡面
材質(基板)CaF2
シリコーンは200℃の熱を加えても、樹脂が溶ける心配がありません。(200℃の物を掴んで熱が伝わるまで15秒)
人の手を基に作られた手形を使用し製造しているので、手の形に添ったフイット感があります。疲れにくい仕様。
-196℃の液体窒素取扱いに対応。
食品現場で使用される次亜塩素酸にも使用可能。完全防水なので液体の侵入も心配ありません。
ダイローブの耐熱用手袋はそのシリコーンをアウター手袋に使用し、インナー手袋には断熱素材を使用して熱の伝わりを抑えた二重構造の手袋です。また、手に触れる面にはメーカー独自の特殊加工を施しているので、発塵しにくい構造となっています。
クリーンルーム内での耐熱作業時に活躍します。
※その他詳細はメーカーページをご覧ください。
用途半導体、シリコンウェーハ製造、潤滑油製造、自動車部品製造、工業用ゴム製品製造、冷熱システム製造、化粧品製造、鋳鉄製造、食品業界(菓子製造、パン製造工場、水産練り製品製造、飲料製造、乳製品製造、肉製品製造、レトルト製造、給食センター等)、熱湯での洗浄作業、メッキ工場、ファーストフード店、マントルヒーターなどクリーンルーム内での耐熱作業時に。
40cmの長手なので浸漬作業、飛沫対策にもお役立ていただけます。
種別耐熱手袋
材質シリコーン、インナー:断熱布
厚さ(mm)2.95
色白
入数(双)1
機能耐熱・低発塵・完全防水・-196℃
全長(cm)40
RoHS指令(10物質対応)対応
耐溶剤性N-メチルピロリドン(NMP) 、ジメチルホルムアミド(DMF)、シクロヘキサノン、アセトン
シリコーンは200℃の熱を加えても、樹脂が溶ける心配がありません。(200℃の物を掴んで熱が伝わるまで15秒)
人の手を基に作られた手形を使用し製造しているので、手の形に添ったフイット感があります。疲れにくい仕様。
-196℃の液体窒素取扱いに対応。
食品現場で使用される次亜塩素酸にも使用可能。完全防水なので液体の侵入も心配ありません。
ダイローブの耐熱用手袋はそのシリコーンをアウター手袋に使用し、インナー手袋には断熱素材を使用して熱の伝わりを抑えた二重構造の手袋です。また、手に触れる面にはメーカー独自の特殊加工を施しているので、発塵しにくい構造となっています。
クリーンルーム内での耐熱作業時に活躍します。
※その他詳細はメーカーページをご覧ください。
用途半導体、シリコンウェーハ製造、潤滑油製造、自動車部品製造、工業用ゴム製品製造、冷熱システム製造、化粧品製造、鋳鉄製造、食品業界(菓子製造、パン製造工場、水産練り製品製造、飲料製造、乳製品製造、肉製品製造、レトルト製造、給食センター等)、熱湯での洗浄作業、メッキ工場、ファーストフード店、マントルヒーターなどクリーンルーム内での耐熱作業時、オートクレーブ取扱いに。
55cmの長手なので浸漬作業、飛沫対策にもお役立ていただけます。
サイズL
全長(cm)55
仕様発塵抑制
材質シリコーン、インナー:断熱布
厚さ(mm)2.95
色白
入数(双)1
機能耐熱・低発塵・完全防水・-196℃
中指長(cm)7.4
耐熱温度(℃)200
材質(表面/裏面)シリコーン/化繊
手の平幅(cm)13.1
材質(インナー)断熱布
RoHS指令(10物質対応)対応
1双
¥26,980
税込¥29,678
当日出荷
装置テスト用(成膜・レジスト・フォトリソ・エッチングの条件出し評価、パーティクル測定、搬送評価など)
仕様(パーティクル)0.3μm≦50、(製造)CZ
型P型(導電型)
サイズ4インチ
直径(Φmm)100±0.5
グレードダミー(モニター)
厚さ(μm)525±25
仕上片面ミラー/裏面エッチング、オリフラ
抵抗値≧1Ωcm
方位100(面)
1箱(25枚)
¥89,980
税込¥98,978
当日出荷
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