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研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。

装置テスト用(条件出し評価、搬送評価など)

研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。

使用済みシリコンウェハを再生加工して、再度プロセスに使用できるレベルにまで再生したシリコンウェハです。実験用、教育用など様々な用途に、少量からご提供します。

装置テスト用(条件出し評価、搬送評価など)

研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。

ベアシリコンウェハから半導体素子ができるまでの過程を体感できるセット内容です。教育現場での半導体についての説明などにご利用ください。

装置テスト用(条件出し評価、搬送評価など)

ウェハーの出荷・保管用の容器です。ウェハーの表を下にして収納します。 ポケットの底は円錘状でウェハーエッジのみ接触します。スプリングでウェハーを固定します。 トレー同士またはトレーとカバーの積み重ねが可能で、トレーは互いに固定して積み重ねることもできます。 オールポリプロピレン製。

アウトガスを極力抑え、低有機汚染性を実現します。 独自のクッション構造により、落下・輸送・振動に強い構造となっております。 気密性に優れています。

無アルカリガラスは、低膨張率・高耐熱性等が安定したガラスです。基板稜線は糸面加工です。

高品質の単結晶SiCアズスライスウエハ

装置テスト用(成膜・レジスト・フォトリソ・エッチングの条件出し評価、パーティクル測定、搬送評価など)

研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。

研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。

ウエハを清浄に搬送する枚葉タイプです。 アウトガスを極力抑え、低有機汚染性を実現します。 積層高さもコンパクトです。 低汚染を追求した材質で製造されています。 トレー同士またはトレーとカバーの積み重ねが可能です。 SS300はガスケットを有し、帯電防止性も品揃えしています。 SS300セットはパッキン付きですので、気密性に優れています。

汎用的な成膜用基板として使用されています。