装置テスト用(条件出し評価、搬送評価など)
仕様(パーティクル)不問、(製造)CZ
型P型(導電型)
サイズ8インチ
直径(Φmm)200±0.5
グレードダミー(モニター)
厚さ(μm)725±25
仕上片面ミラー/裏面エッチング、Vノッチ
抵抗値≧1Ωcm
方位100(面)
1枚
¥8,998
税込¥9,898
当日出荷
装置テスト用(成膜・レジスト・フォトリソ・エッチングの条件出し評価、パーティクル測定、搬送評価など)
仕様(パーティクル)0.2μm≦30、(製造)CZ
型P型(導電型)
サイズ8インチ
直径(Φmm)200±0.5
グレードダミー(モニター)
厚さ(μm)725±25
仕上片面ミラー/裏面エッチング、Vノッチ
抵抗値≧1Ωcm
方位100(面)
1箱(25枚)
¥139,400
税込¥153,340
7日以内出荷
装置テスト用(成膜・レジスト・フォトリソ・エッチングの条件出し評価、パーティクル測定、搬送評価など)
用途装置テスト用
仕様熱酸化膜:1,000ű10%
サイズ8インチ
直径(Φmm)200±0.2
タイプ導電型:P型
厚さ(μm)725±25
仕上Vノッチ、両面成膜
抵抗≧1Ω・cm
方位100(面)
1箱(25枚)
¥179,800
税込¥197,780
10日以内出荷
研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
抵抗値0.1~100Ω・cm
製造方法CZ法
位置【OF】110
方位【面】100
研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
製造方法CZ法
研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
ベアシリコンウェハから半導体素子ができるまでの過程を体感できるセット内容です。教育現場での半導体についての説明などにご利用ください。
用途教育用
セット内容ベアウェハ(12インチ)、膜付きウェハ(12インチ) 、パターン付きウェハ(20mm角)、半導体素子(ダイオード/トランジスタ)
種類セット品
1セット
¥15,980
税込¥17,578
5日以内出荷
使用済みシリコンウェハを再生加工して、再度プロセスに使用できるレベルにまで再生したシリコンウェハです。実験用、教育用など様々な用途に、少量からご提供します。
用途製造プロセス用、研究開発用、実験用、教育用
抵抗値1-100Ω・cm
仕様パーティクル:不問
研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
仕様●グレード:ダミーグレード●タイプ:4H●Surface orientation error:<11-20>4±0.5 °●ドーパント:N型 Nitrogen●抵抗率:0.015~0.025 ohm・cm●直径:200.0±0.2mm●厚み:500±25 μm●主要ノッチ方位:[1-100]±5 °●主要ノッチ深さ:1-1.5 mm●セカンドオリフラ:None●LTV:≦10(10mm×10mm)μm●TTV:≦15μm●Bow:0±65μm●Warp:≦70μm●(AFM)Front(Si-face)Roughness:Ra≦0.2 nm●マイクロパイプ:≦50ea/cm●金属不純物:NA●TED:NA●BPD:NA●TSD:NA●<表面状態>●フロントサイド:Si●面状態:Si-face CMP●パーティークル:NA●スクラッチ:NA●<裏面状態>●面状態:C-face polished●スクラッチ:NA ea/mm●裏面粗さ:Ra≦5 nm●レーザーマーク:On●エッジ:Chamfer●Notes:"NA" =不問。Items not metioned may refer to SEMI-STD●数量:1枚(1箱)●※本製品は半導体向けの結晶材を使用し製造加工しておりますが、材料純度に関する証明等に対応できるものではありません。
アズワン品番67-3018-45
1箱(1枚)
¥454,000
税込¥499,400
23日以内出荷
研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
仕様●(AFM)Front(Si-face)Roughness:Ra≦0.2 nm●Bow(μm):0±25●BPD:≦2000ea/cm●LTV:≦5(10mm×10mm)μm●Surface orientation error:<11-20>4±0.5 °●TED:≦7000ea/cm●TSD:≦500ea/cm●TTV:≦10μm●Warp:≦30μm●スクラッチ:NA ea/mm、≦5,Total Length≦200mmea/wafer●ドーパント:N型 Nitrogen●パーティークル:≦100(size≧0.3μm)ea/wafer●フロントサイド:Si●マイクロパイプ:≦2ea/cm●金属不純物:≦1E11atoms/cm●主要ノッチ方位:[1-100]±5 °●抵抗率:0.015~0.025 ohm・cm●面状態:Si-face CMP/C-face polished●裏面粗さ:Ra≦5 nm
その他レーザーマーク
直径(Φmm)200.0±0.2
タイプ4H
グレードプロダクショングレード
深さ(mm)主要ノッチ:1-1.5
厚さ(μm)500±25
アズワン品番67-3018-39
1箱(1枚)
¥1,810,000
税込¥1,991,000
23日以内出荷
取り出しやすく、積み重ねもできます。
材質透明PC(ポリカーボネート)
研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
ダイシングフレーム付きのウェハーを確実・効果的に運搬および保管できます。
洗浄により繰り返し使用が可能で、コスト削減と廃棄物低減に貢献します。
材質PP(ポリプロピレン)
寸法(mm)225×288×309
アズワン品番1-8206-01
収納枚数(枚)25
適合ウェハー寸法(Φmm)200(8インチ)
1個
¥24,100
税込¥26,510
欠品中
ウェハーの出荷・保管用の容器です。ウェハーの表を下にして収納します。
ポケットの底は円錘状でウェハーエッジのみ接触します。スプリングでウェハーを固定します。
トレー同士またはトレーとカバーの積み重ねが可能で、トレーは互いに固定して積み重ねることもできます。
オールポリプロピレン製。
材質ナチュラルPP(ポリプロピレン)
高品質の単結晶SiCウェハ
仕様●結晶タイプ: 4H-SiC●導電型: Nタイプ●グレード: ダミー●直径: 200.0mm ± 0.2mm (8インチ)●厚さ: 500 μm±25 μm●オフ角度: [11-20]に対して4°±0.5°●マイクロパイプ密度(MPD): 10 個/cm-2 以下●比抵抗値: 0.015~0.028Ω-cm (75%面積)●ノッチ方位: [1-100]±5.0°、深さ 1.0~1.5mm●面方位: {0001}± 0.2°●反り: LTV≦10μm(10*10mm2)、TTV≦15 μm、BOW≦65μm、WARP≦70 μm●表面仕上げ: 両面CMP、Si面Epi Ready (Si面 Ra≦0.5 nm)●エッジクラック: N/A●結晶多形: 累積面積≦5%●エッジチッピング: N/A●レーザーマーク: C面(裏面)側に有り●梱包形態: シングルウエハケースに1枚毎に梱包
アズワン品番68-4088-78
1枚
¥949,800
税込¥1,044,780
5日以内出荷
研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。3インチから300mmウェハまで幅広く対応しています。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。
適合8インチ、300mm用
RoHS指令(10物質対応)対応
1個
¥71,980
税込¥79,178
20日以内出荷
材質(ハンドル)ステンレス(SUS316L)
材質(先端)PEEK(ポリエーテルエーテルケトン
耐熱温度(℃)350[瞬時]、180[常時]
タイプウェハ用制電タイプ
拡張グリップリング付きのウェハーを収納できます。
材質PET
ウェハー収納時のスペーサーとして使用します。
材質極細特殊PE繊維
ウェハー収納時のクッションとして使用します。帯電防止タイプです。
材質EPE(発泡ポリエチレン)
装置テスト用(条件出し評価、搬送評価など)
仕様(パーティクル)不問、(製造)CZ
型P型(導電型)
サイズ6インチ
直径(Φmm)150±0.5
グレードダミー(モニター)
厚さ(μm)625±25
仕上片面ミラー/裏面エッチング、オリフラ
抵抗値≧1Ωcm
方位100(面)
1枚
¥7,998
税込¥8,798
当日出荷
研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
リング付きのウェハーの収納用です。
材質PET
材質セミプラスト(R)P(PP)
寸法(mm)125.5×142.24×114.3
収納数25枚
アズワン品番7-177-07
適合ウェハー寸法(Φmm)100
1個
¥2,910
税込¥3,201
当日出荷
ウェハーを重ねて搬送・保管する際の合紙。
8インチ以下も対応可能です。
導電性能106以下です。
研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
リング付きのウェハーの収納用です。帯電防止タイプです。
材質PP
ウェハーを重ねて搬送・保管する際の合紙。
8インチ以下も対応可能です。
ウェハーを重ねて搬送・保管する際の合紙。
8インチ以下も対応可能です。
ウエハーと接触する保持部は、フッ素樹脂PTFE製で耐薬品性・耐熱性に優れ基板に傷をつけることを防止します。
ウェハー搬送用の容器です。
材質PP
MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。3インチから300mmウェハまで幅広く対応しています。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。
適合6、8インチ用
RoHS指令(10物質対応)対応
1個
¥52,980
税込¥58,278
50日以内出荷
リング付きのウェハーの収納用です。帯電防止タイプです。
材質PP
収納数25枚
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