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HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性ステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類Xステージ
テーブル長さ(mm)50
テーブル幅(mm)50
耐荷重(N)147
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.3
平行度(mm)0.015、運動の平行度：0.007
材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向X軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001、ヨーイング15sec、ピッチング25sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.04、ピッチ剛性：0.04、ロール剛性：0.02
許容モーメント荷重(N・cm)ヨー：800、ピッチ：800、ロール：800
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性ステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類Xステージ
テーブル長さ(mm)60
テーブル幅(mm)60
耐荷重(N)196
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
平行度(mm)0.015、運動の平行度：0.007
材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム
移動方向X軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001、ヨーイング15sec、ピッチング25sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.04、ピッチ剛性：0.04、ロール剛性：0.02
許容モーメント荷重(N・cm)ヨー：1200、ピッチ：1200、ロール：1200
移動ガイドにV溝とクロスローラ(V-CR方式)を使用した、薄型のステージです。操作部取付位置はセンター、サイド、逆サイドがあります。ワークの精密位置決め、測定機の試料台などの用途に広く利用いただけます。
種類Xステージ
テーブル長さ(mm)125
テーブル幅(mm)125
耐荷重(N)245
送り方式MHN1-25T(標準マイクロメータ)
移動ガイドV溝とクロスローラ
質量(kg)2.5
感度0.003mm
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.03
目量マイクロメータ式0.01mm
材質/処理(テーブル)鋼材/硬質黒色クロム
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向X軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.003、ヨーイング・ピッチング15sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.05、ピッチ剛性：0.05、ロール剛性：0.03
移動量(ツマミ1回転)0.5mm
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性ステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類Xステージ
テーブル長さ(mm)50
テーブル幅(mm)50
耐荷重(N)147
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.3
平行度(mm)0.015、運動の平行度：0.007
材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向X軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001、ヨーイング15sec、ピッチング25sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.04、ピッチ剛性：0.04、ロール剛性：0.02
許容モーメント荷重(N・cm)ヨー：800、ピッチ：800、ロール：800
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性ステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類Xステージ
テーブル長さ(mm)70
テーブル幅(mm)70
耐荷重(N)245
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
平行度(mm)0.015、運動の平行度：0.007
材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム
移動方向X軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001、ヨーイング15sec、ピッチング25sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.04、ピッチ剛性：0.04、ロール剛性：0.02
許容モーメント荷重(N・cm)ヨー：1500、ピッチ：1500、ロール：1500
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性ステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類Xステージ
テーブル長さ(mm)70
テーブル幅(mm)70
耐荷重(N)245
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
平行度(mm)0.015、運動の平行度：0.007
材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム
移動方向X軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001、ヨーイング15sec、ピッチング25sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.04、ピッチ剛性：0.04、ロール剛性：0.02
許容モーメント荷重(N・cm)ヨー：1500、ピッチ：1500、ロール：1500
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性ステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類Xステージ
テーブル長さ(mm)60
テーブル幅(mm)60
耐荷重(N)196
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
平行度(mm)0.015、運動の平行度：0.007
材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム
移動方向X軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001、ヨーイング15sec、ピッチング25sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.04、ピッチ剛性：0.04、ロール剛性：0.02
許容モーメント荷重(N・cm)ヨー：1200、ピッチ：1200、ロール：1200
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性ステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類Xステージ
テーブル長さ(mm)40
テーブル幅(mm)40
耐荷重(N)98
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.2
平行度(mm)0.015、運動の平行度：0.007
材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向X軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001、ヨーイング15sec、ピッチング25sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.04、ピッチ剛性：0.04、ロール剛性：0.02
許容モーメント荷重(N・cm)ヨー：500、ピッチ：500、ロール：500
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性ステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類Xステージ
テーブル長さ(mm)40
テーブル幅(mm)40
耐荷重(N)98
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.2
平行度(mm)0.015、運動の平行度：0.007
材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向X軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001、ヨーイング15sec、ピッチング25sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.04、ピッチ剛性：0.04、ロール剛性：0.02
許容モーメント荷重(N・cm)ヨー：500、ピッチ：500、ロール：500
HG-VCR方式に主材質アルミ合金を採用し剛性、軽量を両立したステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類Xステージ
テーブル長さ(mm)60
テーブル幅(mm)60
耐荷重(N)58.8
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.24
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.030、運動の平行度：0.010
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向X軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002、ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.05、ピッチ剛性：0.20、ロール剛性：0.20
HG-VCR方式に主材質アルミ合金を採用し剛性、軽量を両立したステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類Xステージ
テーブル長さ(mm)40
テーブル幅(mm)40
耐荷重(N)39.2
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.13
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.030、運動の平行度：0.010
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向X軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002、ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.20、ピッチ剛性：0.50、ロール剛性：0.50
HG-VCR方式に主材質アルミ合金を採用し剛性、軽量を両立したステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類Xステージ
テーブル長さ(mm)70
テーブル幅(mm)70
耐荷重(N)78.4
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.3
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.030、運動の平行度：0.010
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向X軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002、ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.03、ピッチ剛性：0.10、ロール剛性：0.10
HG-VCR方式に主材質アルミ合金を採用し剛性、軽量を両立したステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類Xステージ
テーブル長さ(mm)70
テーブル幅(mm)70
耐荷重(N)78.4
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.3
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.030、運動の平行度：0.010
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向X軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002、ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.03、ピッチ剛性：0.10、ロール剛性：0.10
HG-VCR方式に主材質アルミ合金を採用し剛性、軽量を両立したステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類Xステージ
テーブル長さ(mm)50
テーブル幅(mm)50
耐荷重(N)49
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.19
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.030、運動の平行度：0.010
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向X軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002、ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.10、ピッチ剛性：0.30、ロール剛性：0.30
HG-VCR方式に主材質アルミ合金を採用し剛性、軽量を両立したステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類Xステージ
テーブル長さ(mm)50
テーブル幅(mm)50
耐荷重(N)49
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.19
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.030、運動の平行度：0.010
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向X軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002、ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.10、ピッチ剛性：0.30、ロール剛性：0.30
HG-VCR方式に主材質アルミ合金を採用し剛性、軽量を両立したステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類Xステージ
テーブル長さ(mm)60
テーブル幅(mm)60
耐荷重(N)58.8
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.24
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.030、運動の平行度：0.010
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向X軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002、ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.05、ピッチ剛性：0.20、ロール剛性：0.20
HG-VCR方式に主材質アルミ合金を採用し剛性、軽量を両立したステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類Xステージ
テーブル長さ(mm)40
テーブル幅(mm)40
耐荷重(N)39.2
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.13
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.030、運動の平行度：0.010
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向X軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002、ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.20、ピッチ剛性：0.50、ロール剛性：0.50
HG-VCR方式に主材質アルミ合金を採用し剛性、軽量を両立したステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類Xステージ
テーブル長さ(mm)30
テーブル幅(mm)30
耐荷重(N)19.6
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.06
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.030、運動の平行度：0.010
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向X軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002、ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：1.00、ピッチ剛性：1.00、ロール剛性：1.00
HG-VCR方式に主材質アルミ合金を採用し剛性、軽量を両立したステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類Xステージ
テーブル長さ(mm)30
テーブル幅(mm)30
耐荷重(N)19.6
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.06
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.030、運動の平行度：0.010
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向X軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002、ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：1.00、ピッチ剛性：1.00、ロール剛性：1.00
移動ガイドにV溝とクロスローラ(V-CR方式)を使用した、超精密ステージです。操作部取付位置はセンター、サイドがあります。ワークの精密位置決め、測定機の試料台などの用途に広く利用いただけます。
種類Xステージ
テーブル長さ(mm)125
テーブル幅(mm)150
耐荷重(N)294
送り方式MHH1-50T(標準マイクロメータ)
移動ガイドV溝とクロスローラ
質量(kg)4.9
感度0.003mm
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.03
目量マイクロメータ式0.01mm
材質/処理(テーブル)鋼材/硬質黒色クロム
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向X軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.003、ヨーイング・ピッチング15sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.02、ピッチ剛性：0.02、ロール剛性：0.01
移動量(ツマミ1回転)0.5mm
移動ガイドにV溝とクロスローラ(V-CR方式)を使用した、薄型軽量のステージです。操作部取付位置はセンター、サイド、逆サイドがあります。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類Xステージ
テーブル長さ(mm)90
テーブル幅(mm)90
耐荷重(N)78.4
送り方式CMH-15F(標準マイクロメータ)
移動ガイドV溝とクロスローラ
質量(kg)0.45
感度0.003mm
クランプ板クランプ
目量マイクロメータ式0.01mm
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向X軸1方向
移動精度(mm)真直度0.003
移動量(ツマミ1回転)0.5mm
移動ガイドにV溝とクロスローラ(V-CR方式)を使用した、超精密ステージです。操作部取付位置はセンター、サイドがあります。ワークの精密位置決め、測定機の試料台などの用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)125
テーブル幅(mm)150
耐荷重(N)245
送り方式MHH1-50T(標準マイクロ)
移動ガイドV溝とクロスローラ
質量(kg)9.8
感度0.003mm
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.06
目量マイクロメータ式0.01mm
材質/処理(テーブル)鋼材/硬質黒色クロム
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度0.003mmヨーイング・ピッチング15sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.02、ピッチ剛性 .0.02、ロール剛性 0.01
移動量(ツマミ1回転)0.5mm
移動ガイドにV溝とクロスローラ(V-CR方式)を使用した、薄型軽量のステージです。操作部取付位置はセンター、サイド、逆サイドがあります。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)90
テーブル幅(mm)90
耐荷重(N)78.4
送り方式CMH-15F(標準マイクロメータ)
移動ガイドV溝とクロスローラ
質量(kg)0.85
感度0.003mm
クランプ板クランプ
目量マイクロメータ式0.01mm
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.003
移動量(ツマミ1回転)0.5mm
移動ガイドにV溝とクロスローラ(V-CR方式)を使用した、薄型のステージです。操作部取付位置はセンター、サイド、逆サイドがあります。ワークの精密位置決め、測定機の試料台などの用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)125
テーブル幅(mm)125
耐荷重(N)255
送り方式MHN1-25T(標準マイクロメータ)
移動ガイドV溝とクロスローラ
質量(kg)4.3
感度0.003mm
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.05
目量マイクロメータ式0.01mm
材質/処理(テーブル)鋼材/硬質黒色クロム
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度0.003mmヨーイング・ピッチング15sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.05、ピッチ剛性 0.05、ロール剛性 0.03
移動量(ツマミ1回転)0.5mm
薄型軽量の昇降型Z軸ステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
耐荷重(N)49(5kgf)
移動ガイドHG-VCR方式(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.4
付属品検査合格証、六角穴付ボルト(本体固定用)M4 4本
材質アルミ合金
移動方向Z軸1方向
ステージ寸法(mm)90×90
クランプ板クランプ
移動量(mm)0～10、ツマミ1回転：0.5
感度0.003mm
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.008
表面処理黒アルマイト梨地
目量(mm)マイクロメータ式：0.01
種類zステージ
送り方式移動機構：CMH-13FM(標準マイクロメータ)
1台
￥54,980
税込￥60,478
当日出荷
移動ガイドにV-CR方式を採用したXYZステージです。マイクロの取付位置にサイドと逆サイドがあります。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyzステージ
テーブル長さ(mm)90
テーブル幅(mm)90
耐荷重(N)49
送り方式(XY軸)CMH-15F、(Z軸)CMH-13FM(各軸標準マイクロメータ)
移動ガイドXY軸 V溝とクロスローラ、Z軸 V溝レールと鋼球
質量(kg)1.25
感度0.003mm
クランプ板クランプ
目量マイクロメータ式0.01mm
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XYZ軸3方向
移動精度(mm)真直度 XY軸0.003、Z軸0.008
移動量(ツマミ1回転)(XYZ軸)0.5mm
移動ガイドにV-CR方式を採用したXYZステージです。マイクロの取付位置にサイドと逆サイドがあります。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyzステージ
テーブル長さ(mm)125
テーブル幅(mm)125
耐荷重(N)49
送り方式(XY軸)MHN1-25T、(Z軸)CMH-13FM(各軸標準マイクロメータ)
移動ガイドV溝とクロスローラ
質量(kg)5.7
感度0.003mm
クランプ板クランプ
目量マイクロメータ式0.01mm
材質/処理(XY軸)鋼材/硬質黒色クロム、(Z軸)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XYZ軸3方向
移動精度(mm)真直度 XY軸0.003、Z軸0.005
移動量(ツマミ1回転)(XYZ軸)0.5mm
XY軸、Z軸、回転軸のスリムステージを組み合わせた、XYZ回転ステージです。マイクロメータヘッドの向きを逆にしたタイプがあり、左右からの操作が可能です。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyzステージ/回転ステージ
耐荷重(N)29.4
送り方式(XY軸)CMH-15F、(Z軸)CMH-13FM、(回転軸)CEH-13R (各軸標準マイクロメータ)
移動ガイド(XY軸)V溝とクロスローラ、(Z軸)V溝レールと鋼球、(回転軸)すり合わせ式
質量(kg)1.75
感度(XYZ軸)0.003mm
クランプ(XYZ軸)板クランプ、(回転軸)複合クランプ
目量(XYZ軸)マイクロメータ式0.01mm、(回転軸)バーニヤ読み5′/マイクロメータ式0.01mm(1目盛約0.01mm°)
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
ステージ寸法(mm)Φ90
移動方向XYZ回転4方向
移動精度(mm)真直度(XY軸)0.003、(Z軸)0.008、心円度(回転軸)0.04、面振れ(回転軸)0.02
移動量(°)粗動360・微動±5
移動量(ツマミ1回転)(XYZ軸)0.5mm・(ツマミ1回転)(回転軸)約0.5°
XY軸、Z軸、回転軸のスリムステージを組み合わせた、XYZ回転ステージです。マイクロメータヘッドの向きを逆にしたタイプがあり、左右からの操作が可能です。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyzステージ/回転ステージ
耐荷重(N)29.4
送り方式(XY軸)MHN1-25T、(Z軸)CMH-13FM、(回転軸)CEH-13R (各軸標準マイクロメータ)
移動ガイド(XY軸)V溝とクロスローラ、(Z軸)V溝レールと鋼球、(回転軸)すり合わせ式
質量(kg)6.6
感度(XYZ軸)0.003mm
クランプ(XYZ軸)板クランプ、(回転軸)複合クランプ
目量(XYZ軸)マイクロメータ式0.01mm、(回転軸)バーニヤ読み5′/マイクロメータ式0.01mm(1目盛約0.008°)
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
ステージ寸法(mm)Φ125
移動方向XYZ回転4方向
移動精度(mm)真直度(XY軸)0.003、(Z軸)0.005、心円度(回転軸)0.05、面振れ(回転軸)0.03
移動量(°)粗動360・微動±5
移動量(ツマミ1回転)(XYZ軸)0.5mm・(ツマミ1回転)(回転軸)約0.39°
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