サインシリンダ (RECU20-6～) 複動

・ショックを嫌うワークのスピード搬送を実現。
・シンプルな回路で省スペース化を実現。
・クリーンルームClass M3.5(Fed.Std.209E)に対応
クリーンルーム対応形では、リリーフポートからの
排気や真空掃引によって内部の発塵を除去します。