表示器付マスフローコントローラ/マスフローメータ MODEL D8500 SERIES + 専用AC電源アダプタ

 

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空気(AIR)用の表示器付デジタルマスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。専用AC電源アダプタPSK-85により、AC100Vによる駆動が可能です。
用途
大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
適合流体
空気(AIR)
内容量
1式
注意
※流体・流量等の諸条件により、仕様に多数のバリエーションがございます。かならず型式をご確認のうえ、ご選定お願い致します。
【型式説明】
D8500MC or MM-O-(出力)-(接続)-(流体)-(最大流量)-(常用使用圧力)-(校正温度)
*MC(コントローラ) or MM(メータ)
*出力:V(0〜5V) or I(4〜20mA)
*接続:RC1/4(1/4管用テーパめねじ) or 1/4SW(1/4スウェジロック食込継手)等
*最大流量:SCCM(Standard Cubic Centimeter per Minute) or SLM(Standard Liter per Minute)
*校正温度:20℃ or 0℃
【MODEL D8500 SERIES 標準仕様】
センサ方式:熱式センサー
最大流量レンジ(N2 換算):50SCCM〜20SLM
バルブ方式:比例ソレノイドバルブ(非通電時 閉)
制御範囲:FS2〜100%
応答性:0→10%FS以上2sec以内、0→10%FS未満4sec以内(※1.)
流量精度:FS≦5SLM(N2換算) FS±1%(※2.)
FS>5SLM(N2換算) FS±1.5%(※2.)
再現性:FS±0.75%
耐圧:1000KPA(G)
動作可能圧力:500KPA(G)以下
動作差圧(※5.):FS≦5SLM(N2換算) 50〜300KPA(G)
FS>5SLM(N2換算) 100〜300KPA(G)
使用可能温度:5〜45℃
温度特性:FS±0.2%/℃
許容周囲湿度:10〜90%(結露なきこと)
Heリークレート:1×10-8Pa・m2/s以下(※3.)
デジタル流量設定(※5.):設定表示器、通信、イベント入力切替
アナログ流量設定(※5.):0〜5V or 4〜20mA
流量出力:0〜5V or 4〜20mA(上記と連動)
表示方法:7セグメントLED4桁
積算流量:12桁(※4.)
状態表示LED:OK(許容範囲内)/ALM(アラーム出力連動)/OUT1(イベント出力1連動)/OUT2(イベント出力2連動)/SV(設定流量)/PV(瞬時流量)/TF(積算流量)/IF(モード設定)
イベント入力:3×接点入力
アラーム出力:1×オープンコレクタ出力 Max35V 50mA
イベント出力:2×オープンコレクタ出力 Max35V 50mA
通信:RS485 半二重 9600bps
電源定格:24VDC 消費電流300mA MAX
許容電源電圧範囲:21.6VDC〜26.4VDC(リップル5%以下)
取付姿勢:指定なし
接ガス部材質:SUS316、SUS316L、SUS430、FKM、PTFE
重量:約1000g
※1.…全閉状態から制御流量±2%FS到達時間
※2.…標準圧力(200KPA(G))、標準温度(20℃)において
※3.…透過ふくまず(長時間の透過によるリーク量(参考値)は、1×106Pa・/s以下)
※4.…単位はFS流量によって変動(例:1SLMの場合は最大9999 9999 9.999Lまで積算可能)
※5.…マスフローコントローラタイプのみ
 
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