表示器付マスフローコントローラ/マスフローメータ MODEL D8500 SERIES + 専用AC電源アダプタ

用途

大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。

適合流体

空気(AIR)

内容量

1式

注意

※流体・流量等の諸条件により、仕様に多数のバリエーションがございます。かならず型式をご確認のうえ、ご選定お願い致します。
【型式説明】
D8500MC or MM-O-(出力)-(接続)-(流体)-(最大流量)-(常用使用圧力)-(校正温度)
*MC(コントローラ) or MM(メータ)
*出力：V(0〜5V) or I(4〜20mA)
*接続：RC1/4(1/4管用テーパめねじ) or 1/4SW(1/4スウェジロック食込継手)等
*最大流量：SCCM(Standard Cubic Centimeter per Minute) or SLM(Standard Liter per Minute)
*校正温度：20℃ or 0℃
【MODEL D8500 SERIES 標準仕様】
センサ方式：熱式センサー
最大流量レンジ(N2 換算)：50SCCM〜20SLM
バルブ方式：比例ソレノイドバルブ(非通電時 閉)
制御範囲：FS2〜100%
応答性：0→10%FS以上2sec以内、0→10%FS未満4sec以内(※1.)
流量精度：FS≦5SLM(N2換算) FS±1%(※2.)
FS＞5SLM(N2換算) FS±1.5%(※2.)
再現性：FS±0.75%
耐圧：1000KPA(G)
動作可能圧力：500KPA(G)以下
動作差圧(※5.)：FS≦5SLM(N2換算) 50〜300KPA(G)
FS＞5SLM(N2換算) 100〜300KPA(G)
使用可能温度：5〜45℃
温度特性：FS±0.2%/℃
許容周囲湿度：10〜90%(結露なきこと)
Heリークレート：1×10-8Pa・m²/s以下(※3.)
デジタル流量設定(※5.)：設定表示器、通信、イベント入力切替
アナログ流量設定(※5.)：0〜5V or 4〜20mA
流量出力：0〜5V or 4〜20mA(上記と連動)
表示方法：7セグメントLED4桁
積算流量：12桁(※4.)
状態表示LED：OK(許容範囲内)/ALM(アラーム出力連動)/OUT1(イベント出力1連動)/OUT2(イベント出力2連動)/SV(設定流量)/PV(瞬時流量)/TF(積算流量)/IF(モード設定)
イベント入力：3×接点入力
アラーム出力：1×オープンコレクタ出力 Max35V 50mA
イベント出力：2×オープンコレクタ出力 Max35V 50mA
通信：RS485 半二重 9600bps
電源定格：24VDC 消費電流300mA MAX
許容電源電圧範囲：21.6VDC〜26.4VDC(リップル5%以下)
取付姿勢：指定なし
接ガス部材質：SUS316、SUS316L、SUS430、FKM、PTFE
重量：約1000g
※1.…全閉状態から制御流量±2%FS到達時間
※2.…標準圧力(200KPA(G))、標準温度(20℃)において
※3.…透過ふくまず(長時間の透過によるリーク量(参考値)は、1×106Pa・/s以下)
※4.…単位はFS流量によって変動(例：1SLMの場合は最大9999 9999 9.999Lまで積算可能)
※5.…マスフローコントローラタイプのみ