薄膜工学 第3版

「薄膜」という幅広い分野をわかりやすく解説した「薄膜工学 第2版(2011年11月刊行)」の改訂版。 「薄膜」とは薄い膜(2次元)状のものの総称です。その歴史は古く、紀元前の金メッキにまで遡るといわれ、現在では、半導体や電子基板など最先端ディバイスをはじめとした、多くの産業分野で幅広く利用されています。 本書第3版では、日本学術振興会薄膜131委員会主催のサマースクールにおける講義内容を元に、前版までの解説内容の見直し、最新の技術についての解説を増やすなど大幅に刷新しました。 前述の「半導体」などの新規技術についての解説に止まらず、各種技術分野への応用や実用的内容についてなど、製造技術についてもわかりやすく解説しています。 これまでの薄膜工学の基礎と新規技術に関する解説を合わせた本書は、学部生・大学院生・企業の若手などを対象とした入門書として、また、教科書としてもおすすめの1冊です。