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磁気・渦電流膜厚計プローブN1
仕様
最小曲率:3mm、最小領域:Φ5mm、基盤の臨界厚さ:0.3mm
測定方式
渦電流
分解能
0.1um
測定範囲(μm)
0-1250
測定誤差
±(3%H+1.5)um(1点校正)・±[(1~3)H%+1.5]um(2点校正)
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