仕様●ポリタイプ: 4H-SiC●サイズ: Φ4inch(99.5-100mm)●グレード: ZMP(プライムグレード相当)●厚さ: 500 μm +- 25μm●オフ角: <0001> on-axis +/-0.5°●オリフラ付: {10-10}に平行して+/-0.5°●長さ:32.5 +/- 2mm●マイクロパイプ密度: 1個以下/cm2●比抵抗値: ≧1E 10 Ω・cm●仕上げ: Si面→CMP、C面→ 光学鏡面●梱包:シングルケース材質炭化ケイ素アズワン品番68-4088-74内容量1枚