設定温度に達した履歴を残します。 ウェハに貼り付けて40℃から280℃までの温度履歴管理が可能です。 表面の凹凸を極力減らしたためプラズマの影響を受けにくくなっています。 表面をポリイミドフィルムでカバーし、裏面印刷でインクの飛散を防止しています。 食品添加物に認定されている石油系天然ワックスの物性変化を利用しており、鉛・水銀・クロム等環境負荷物質を含まず、安全性が高いです。