フランジCF70
インターフェースRS232C・表示器(TGD100)、PC に接続可
入力信号測定開始/停止、デガス、タフモードON/OFF
出力信号セットポイント接点×2ch、アラーム接点
入力電源(V)DC24、1A
測定範囲1×10-8Pa 〜 0.1Pa
電圧(V)3k〜500(バイアス/最適制御)
材質(シール)メタルOリングシール
RoHS指令(10物質対応)対応
用途真空蒸着装置、エッチング装置、スパッタ装置、電子顕微鏡、イオン注入装置、LPCVD装置、質量分析装置、加速器、有機EL材料精製
仕様【圧力単位】Pa/Torr/mbar、【タフモード】測定時カソード電極を通電加熱(温度を3 段階に設定可)、【デガス】カソードを約700℃にフラッシュ加熱、【圧力信号出力】0〜10V × 2ch
タイプトランスミッタタイプ(LED 表示付)
