CCTG200C-CF70 冷陰極真空計 CCTG ミラプロ 20996020

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CCTG200C-CF70 冷陰極真空計 CCTG ミラプロ 20996020

冷陰極真空計 CCTG

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63日以内出荷63日以内出荷とは
内容量1台フランジCF70セット内容フランジ、検査成績書付注文コード20996020品番CCTG200C-CF70
参考基準価格(税別)¥282,000販売価格(税込)¥296,780
販売価格(税別)
269,800

コールドカソードタフゲージCCTG(Cold Cathode Tough Gauge)はカソード電極を加熱することで、従来は対応できなかった電極汚染の防止、超高真空領域での安定放電を実現しました。
また、カソード材質にセラミックを採用したことにより、従来にはない耐腐食性を兼ね備えました。
今まで計れなかったハロゲンガス雰囲気の圧力を計測することができます。

用途
真空蒸着装置、エッチング装置、スパッタ装置、電子顕微鏡、イオン注入装置、LPCVD装置、質量分析装置、加速器、有機EL材料精製
フランジCF70インターフェースRS232C・表示器(TGD100)、PC に接続可入力信号測定開始/停止、デガス、タフモードON/OFF出力信号セットポイント接点×2ch、アラーム接点入力電源(V)DC24、1A測定範囲1×10-8Pa ~ 0.1Pa電圧(V)3k~500(バイアス/最適制御)材質(シール)メタルOリングシールRoHS指令(10物質対応)対応仕様【圧力単位】Pa/Torr/mbar、【タフモード】測定時カソード電極を通電加熱(温度を3 段階に設定可)、【デガス】カソードを約700℃にフラッシュ加熱、【圧力信号出力】0~10V × 2chセット内容フランジ、検査成績書付タイプトランスミッタタイプ(LED 表示付)
関連資料:(0.74MB)
注意
※本機には電源は付属しません。別途CCTG200CBL(電源通信ケーブル)をご使用ください。
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