ミラプロ

冷陰極真空計 CCTG

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内容量1台フランジCF70セット内容フランジ、校正証明書、検査成績書付注文コード20996029品番CCTG200C-CF70

参考基準価格(税別)￥332,000販売価格(税込)￥351,780

販売価格(税別)

￥319,800

この商品はフランジ・セット内容など8種類から選べます

コールドカソードタフゲージCCTG(Cold Cathode Tough Gauge)はカソード電極を加熱することで、従来は対応できなかった電極汚染の防止、超高真空領域での安定放電を実現しました。
また、カソード材質にセラミックを採用したことにより、従来にはない耐腐食性を兼ね備えました。
今まで計れなかったハロゲンガス雰囲気の圧力を計測することができます。

用途真空蒸着装置、エッチング装置、スパッタ装置、電子顕微鏡、イオン注入装置、LPCVD装置、質量分析装置、加速器、有機EL材料精製フランジCF70インターフェースRS232C・表示器(TGD100)、PC に接続可入力信号測定開始/停止、デガス、タフモードON/OFF出力信号セットポイント接点×2ch、アラーム接点入力電源(V)DC24、1A測定範囲1×10^-8Pa ～ 0.1Pa電圧(V)3k～500(バイアス/最適制御)材質(シール)メタルOリングシールRoHS指令(10物質対応)対応仕様【圧力単位】Pa/Torr/mbar、【タフモード】測定時カソード電極を通電加熱(温度を3 段階に設定可)、【デガス】カソードを約700℃にフラッシュ加熱、【圧力信号出力】0～10V × 2chセット内容フランジ、校正証明書、検査成績書付タイプトランスミッタタイプ(LED 表示付)

地域運賃

地域	単位	配送費
北海道地方	数量1につき	￥2,500/税込￥2,750
沖縄地方	数量1につき	￥3,000/税込￥3,300
離島	数量1につき	￥3,000/税込￥3,300