XY直交度(mm)0.006
ストローク(X距離)(mm)±20
ストローク(Y距離)(mm)±20
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)90
テーブル幅(mm)90
耐荷重(N)166
送り方式送りねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
仕様(送りねじ)ボールねじ
質量(kg)5.6
表面処理(テーブル)カニゼンメッキ、(ベース)塗装
繰返し精度(mm)±0.0006
センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
分解能0.002mm
適合ケーブルACB-STD2、ACB-STD3
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.003
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.6、ピッチ剛性：0.4、ロール剛性：0.4
使用モータPK545NBW相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
送りねじリード(mm)1
位置決め精度(mm)0.005
ロストモーション(mm)0.001
最高速度(mm/s)16(8000pps時)
材質(テーブル)鋼材
