測定範囲(mm)10
測定力(N)縦姿勢/1.4以下、横姿勢/1.3以下、逆姿勢/1.2以下
分解能(μm)0.5
指示精度(μm)1.5+L/50(20℃、L=任意測定長(mm))
精度(μm)狭範囲:0.5(任意20μmの範囲)
繰返し精度(б)0.3μm(20℃)、原点:σ≦0.5μm(300mm/s以下の一定速度で同一方向の原点通過による・20℃)
位置検出方式光学式透過形リニアエンコーダ
最大応答速度(mm/s)1500
出力信号90°位相差、差動方形波(RS-422適合)
仕様最小エッジ間隔:250ns(4MHz)
原点信号機測定子先端(下死点)から約3mm(Z相)
測定子超硬球Φ3mm(取付用ねじ部M2.5(P=0.45×5))標準測定子(No.901312)
ステム径(Φmm)8
軸受種類リニアボールベアリング
ケーブル長(m)出力ケーブル:2(本体から直出し)
コネクタ使用プラグ/HR10A-10P-10P(ヒロセ)、適合レセプタクル/HR10A-10R-10S(ヒロセ)、適合ジャック/HR10A-10J-10S(ヒロセ)
使用温度範囲(℃)0〜50
使用湿度範囲(%RH)20〜80(非結露)
保存温度範囲(℃)-10〜60
保存湿度範囲(%RH)20〜80(非結露)
