XY直交度(mm)0.02
ストローク(X距離)(mm)±25
ストローク(Y距離)(mm)±25
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)125
テーブル幅(mm)150
耐荷重(N)245
送り方式MHH1-50T(標準マイクロ)
移動ガイドV溝とクロスローラ
操作位置センター
質量(kg)9.8
感度0.003mm
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.06
目量マイクロメータ式0.01mm
材質/処理(テーブル)鋼材/硬質黒色クロム
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度0.003mmヨーイング・ピッチング15sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.02、ピッチ剛性 .0.02、ロール剛性 0.01
移動量(ツマミ1回転)0.5mm
