XY直交度(mm)0.01
ストローク(X距離)(mm)±6.5
ストローク(Y距離)(mm)±6.5
ストローク(Z距離)(mm)0〜10
種類xyzステージ
テーブル長さ(mm)60
テーブル幅(mm)60
耐荷重(N)29.4
送り方式CMH-13RM(各軸標準マイクロメータ)
移動ガイドHG-VCR方式(V溝とクロスローラ)
操作位置(XY軸)逆サイド
質量(kg)0.72
感度0.003mm
クランプ板クランプ
目量マイクロメータ式0.01mm
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XYZ軸3方向
移動精度(mm)真直度 XY軸0.002、Z軸0.003
移動量(ツマミ1回転)(XYZ軸)0.5mm
